Для измерения чувствительности необходима образцовая течь с известной скоростью натекания. Такие образцы выпускаются серийно и обычно представляют собой пористую заглушку либо мембрану, которая подсоединяется к источнику гелия. Мембранные натекатели, как правило, снабжены баллоном с гелием.

Образцовая течь должна выбираться таким образом, чтобы обеспечивать скорость натекания, превышающую примерно в 50 раз минимальную регистрируемую течь при давлении гелия, равном его парциальному давлению в атмосфере. Обычно-рабочая температура образцовой течи указывается изготовителем, поэтому при любых других температурах необходимо вводить соответствующую поправку. Для предотвращения накопления гелия перед течью необходимо использовать вспомогательную систему откачки (рис. 8.6).

Некоторые течеискатели серийного изготовления снабжены вспомогательной откачивающей системой. При испытании течеискателя сначала проводят проверку этой системы на наличие-фонового сигнала. Для этого перекрывают клапан Vi (см. рис. 8.6) либо, если он не приспособлен для этого, заменяют образцовую течь заглушкой.

После откачки вспомогательной системы открывают клапан V2 (V3 закрыт). Показание выходного прибора и представляет собой фоновый сигнал. Затем закрывают клапан V2, а клапан V1 открывают (либо заглушку заменяют образцовой течью) и откачивают вспомогательную» систему.

После этого закрывают клапан V3 и открывают V1. Когда давление в течеискателе достигнет стационарного значения, снимают отсчет выходного прибора. Затем, перекрыв клапан V1 настолько быстро, насколько это возможно, включают секундомер и останавливают его при уменьшении отсчета выходного прибора до 37%. Это время принимается за постоянную времени течеискателя Т.

Рис.8.6. Схема установки для градуировки масс-спектрометрического течеискателя. V1, V3 — клапаны; V2 — дроссель течеискателя; V4 — клапан напуска атмосферного воздуха.

 На основании полученных данных определяют чувствительность Ф из следующего выражения:

(8.26)

где Zo — отсчет, вызываемый образцовой течью, s — фоновый сигнал, a Qa — эквивалентная скорость натекания воздуха через образцовую течь. Тогда минимальный поток  Qмин, соответствующий постоянной времени Т, будет равен

(8.27)

Для большинства течеискателей сигнал, равный сумме флуктуации фонового сигнала и дрейфа (т. е. минимальный регистрируемый сигнал), составляет менее 2% полной шкалы в наиболее чувствиельном диапазоне выходного прибора, и Qмин представляет собой скорость натекания, которая соответствует такому отклонению стрелки выходного прибора.