В целом о вакууме и вакуумных системах

Свойства вакуума
Особенности вакуумных систем

Вакуумные материалы и уплотнители

Вакуумные материалы
Уплотнители и и смазки

На заметку

Градуировка вакуумметров
Измерение и контроль вакуума - Контрольно-измерительная аппаратура
Оглавление
Градуировка вакуумметров
Страница 2
Страница 3
Страница 4
Все страницы

Существуют два основных метода градуировки вакуумметров: статический и динамический. При использовании статического метода градуируемый вакуумметр подсоединяется к вакуумной камере вблизи от образцового (эталонного) и производится сравнение показаний обоих приборов в условиях равновесия.


Камера должна быть сконструирована таким образом, чтобы гарантировать одинаковое давление по всему объему (другими словами, недопустимо наличие в камере каких-либо потоков газа). Кроме того, вакуумная система должна обеспечивать достижение и сохранение значительно более низкого давления по сравнению с требуемым для проведения измерений.

Этот метод наиболее целесообразно использовать для вакуумметров с рабочим диапазоном измерений or 10 до 10-3 Па, т. е. при давлениях, обычно используемых в стеклянных отпаянных системах. Для таких вакуумметров может быть достигнута точность лучше ± 1 %.

Однако для сверхвысоковакуумных вакуумметров выполнение перечисленных выше условий практически невозможно, что объясняется следующими причинами. Во-первых, единственными вакуумметрами, которые могут быть использованы в качестве образцовых, являются динамические и радиометрические вакуумметры (см. разд. 4.3), нижний предел измерения давлений для которых составляет около 10-7 Па.

Поэтому в случае приборов, предназначаемых для условий сверхвысокого вакуума, приходится полагаться на градуировку с помощью вторичных эталонов (предварительно отградуированных ионизационных вакуумметров) либо использовать метод экстраполяции) к более низким давлениям.

Во-вторых, необходимо, чтобы остаточное давление в системе было ниже 10-8 Па, достижение которого и для отпаиваемых систем непросто; кроме того, требуется точно знать состав используемого при градуировке газа, что не все гда удается. Тем не менее этот метод используется и приводит к удовлетворительным результатам. В особенности этот метод полезен при проверке чувствительности и градуировке вакуумметров серийного производства. Проблема аттестации вакуумметров может быть частично решена с помощью метода объемного расширения.

Суть этого метода сводится к тому, что небольшое количество газа известного объема, находящегося при давлении выше 10-3 Па (которое может быть измерено с достаточно высокой степенью точности), расширяется в камеру известного (большого) объема, к которой подсоединен градуируемый вакуумметр. После расширения и установления равновесия давление газа определяется по закону Бойля — Мариотта на основании известного соотношения объемов, величина которого может достигать 107. Этот метод можно использовать либо многократно для двух камер, либо для нескольких последовательных камер с меньшими значениями соотношения объемов.



 

Добавить комментарий


Защитный код
Обновить

Сейчас на сайте

Сейчас на сайте находятся:
 141 гостей на сайте
=
Рейтинг@Mail.ru