В целом о вакууме и вакуумных системах

Свойства вакуума
Особенности вакуумных систем

Вакуумные материалы и уплотнители

Вакуумные материалы
Уплотнители и и смазки

На заметку

Об измерении парциальных давлений в вакуумных системах
Измерение и контроль вакуума - Контрольно-измерительная аппаратура
Оглавление
Об измерении парциальных давлений в вакуумных системах
Страница 2
Все страницы


Для многих вакуумметрических исследований достаточно знать приблизительную величину давления остаточного газа, не интересуясь его составом. Для этого можно использовать не требующие регулярной градуировки вакуумметры, измеряющие полное давление газа. Если же необходимо определять давление с той точностью, которую обеспечивает ионизационный вакуумметр, то в этом случае нужно не только регулярно контролировать градуировку вакуумметра и знать относительные чувствительности прибора для различных газов, но также определять состав остаточного газа в системе.


При давлениях >10-5 Па, особенно если откачка осуществляется с использованием комбинации диффузионного и ротационного насосов, состав остаточного газа, вероятно, будет аналогичен составу атмосферного воздуха, находившегося в системе до откачки. В этом случае давление может быть измерено с достаточной точностью. При давлениях ниже 10-5 Па это не так.

Ранее отмечалось, что некоторые насосы, используемые в сверхвысоковакуумных системах, обладают селективной способностью откачивать различные газы, так что некоторые газы остаются практически неоткачанными. Кроме того, при давлениях ниже 10-6 Па выделяющийся из деталей вакуумной системы газ становится основным в остаточном газе, вследствие чего остаточный газ может значительно отличаться по составу от атмосферного воздуха. Более того, во многих конкретных случаях знать состав остаточного газа важнее, чем его давление (например, присутствие активных газов затрудняет изучение свойств поверхности, а присутствие тяжелых молекул нежелательно в ускорителях элементарных частиц).


Измерение одного лишь полного давления в этих случаях недостаточно; необходимо, кроме того, знать род хотя бы основной составляющей остаточного газа, а еще лучше — полный состав газа и давления его составляющих (так называемые парциальные давления). Поэтому наряду с развитием средств измерения полного давления в условиях вакуума разрабатывались приборы для определения парциальных давлений остаточных газов.

Обычно для этих целей используются масс-спектрометры, приспособленные для изучения остаточных газов в вакуумной системе. Иногда приборы этого типа называют газоанализаторами, и они используются либо для непосредственного измерения парциальных давлений (после предварительной градуировки), либо для определения качественного состава остаточного газа. Газоанализаторы отличаются от обычных масс-спектрометров повышенной чувствительностью и компактностью за счет более низкой разрешающей способности и ограниченности диапазона анализируемых масс.



 

Добавить комментарий


Защитный код
Обновить

Сейчас на сайте

Сейчас на сайте находятся:
 148 гостей на сайте
=
Рейтинг@Mail.ru