Промышленные форвакуумные насосы обычно не годятся для откачивания до высокого или сверхвысокого вакуума. Для этих целей требуется более совершенная конструкция с улучшенной теплопроводностью. Известно довольно много таких конструкций, в которых цеолит тонким слоем (в несколько миллиметров) размещен по охлаждаемой поверхности и(или) использованы металлические перегородки для увеличения охлаждаемой поверхности. Цеолит у стенок удерживается с помощью сеток или в некоторых случаях приклеивается к корпусу.

Адсорбционные насосы для получения давления ниже 1 Па используются главным образом для создания предварительного разрежения в ионных насосах. Эти насосы, в случае достижения предварительного разрежения 10^-3 или 10^-4 Па, могут эксплуатироваться с более простыми и дешевыми источниками питания. Кроме того, такие адсорбционные насосы могут использоваться в качестве бустерных для откачивания газа, выделяемого конструкционными элементами установки или другими источниками в системах высокого и сверхвысокого вакуума. Главным достоинством адсорбционного насоса в этом случае являются его большая газовая емкость и отсутствие загрязнений.

Следует также указать на проблему, усложняющую использование адсорбционных насосов, которая связана со свойствами цеолита. Регулярная эксплуатация насоса приводит к образованию цеолитовой пыли, предотвратить попадание которой в систему весьма сложно. Попавшая в систему пыль может давать нежелательные отложения, в частности загрязнять металлические клапаны и тем самым нарушать их работу.

3.17. Зависимость давления насыщения различных газов и паров от температуры.X предварительно откачанный насос; А насос без предварительной откачки- О предварительно откачанный насос с введением 100 Па*м³ газа после 5 мин охлаждения 1 — добавление 100 Пам³ газа; 2 — охлаждение в течение 16 ч, 3 — хромель-алюмелевая термопара.

Однако в любом случае вакуумная система должна быть сконструирована таким образом, чтобы избежать установки металлических клапанов вблизи адсорбционного иасоса. Кроме того, следует регулярно заменять использованный цеолит на новый.