Получение вакуума -
Насосы для высокого вакуума
|
Cтраница 4 из 4 В заключение следует подчеркнуть, что метод криооткачки обладает значительными преимуществами по сравнению с другими методами получения сверхвысокого вакуума. Этот метод обеспечивает отсутствие каких-либо загрязнений, низкое предельное давление и высокую скорость откачки. Использование специально сконструированных крионасосов в больших вакуумных системах, которые сами по себе достаточно дороги, вполне оправданно. Такие насосы работают на гелии и обычно снабжены усовершенствованными системами сбора и регенерации газа. В последнее время разработаны компактные криогенераторы регенерационного типа, которые позволили распространить криооткачку на небольшие вакуумные системы и освоить промышленное производство крионасосов, удобных в установке и эксплуатации.
|