Компания СОЖЭВ (Франция) производит турбомолекулярный насосный агрегат, состоящий из турбомолекулярного насоса (650 л/с), диффузионного масляного насоса (100 л/с) и форвакуумного пластинчато-роторного(30 м3/ч). Предельное давление, создаваемое этим агрегатом, ниже 10^-10 мм рт. ст.

В новых конструкциях турбомолекулярных насосов передняя статорная решетка заменена тонкими профилями, что дает значительный эффект (рис. 347).

На рис. 348 показан турбомолекулярный агрегат ТВА-200 отечественного производства. Турбомолекулярный высоковакуумный агрегат ТВА-500М состоит из насоса ТВН-500М (модернизированного), форвакуумного насоса ВН-20-2, магнитного клапана MK с Ду-50 мм и пульта управления.

Таблица 66

Основные характеристики турбомолекулярных насосов

Техническая характеристика агрегата ТВА-500М

Предельный вакуум, измеренный во входном патрубке, в мм рт. ст.............. (1—2)*10^-9

Частота вращения в об/мин ..... 12 000

Мощность в кВт .......... 2,5

Расход воды в л/ч . . .120

Габаритные размеры в мм 1010x 820x 940 Масса в кг .......500

Рабочая область давлений турбомолекулярных насосов от 2•1O^-10 до 10^-5 мм рт. ст. В начале откачки турбомолекулярный насос оказывает некоторое изменяющееся сопротивление потоку, обеспечиваемому форвакуумный насосом, и лишь после достаточного снижения давления и уменьшения потока получает возможность создавать разрежение.

Поэтому недостаточная производительность форвакуумного насоса или большое сопротивление форвакуумной коммуникации могут привести к тому,что турбомолекулярный насос не достигнет максимальной расчетной скорости откачки, особенно по откачке легких газов, по которым насос имеет более крутой спад характеристики скорости откачки с увеличением степени сжатия.

Беляев в своих работах показал, что действие турбомолекулярного насоса можно рассматривать как динамически регулируемое сопротивление.

Иначе говоря, газ откачивается здесь в результате меняющегося сопротивления проходного сечения каналов диска при работе насоса. Поэтому и отпадает необходимость в создании весьма малого зазора.

Рис. 346. Кривые скорости откачки некоторых промышленных турбомолекулярных насосов

Была экспериментально определена зависимость скорости откачки и коэффициента сжатия от угла установки передней грани лопатки и от степени сужения канала. Опыты показали, что наиболее выгодны диски с тонкими лопатками, закрученными по высоте пропорционально радиусу диска с увеличением угла установки передней грани лопатки.

Такие диски имеет насос TBH-1000, скорость откачки которого в 2 раза больше, чем у насоса TVP-2000 (ФРГ),хотя габаритные размеры их одинаковы.