В целом о вакууме и вакуумных системах

Свойства вакуума
Особенности вакуумных систем

Вакуумные материалы и уплотнители

Вакуумные материалы
Уплотнители и и смазки

На заметку

Молекулярные насосы
Получение вакуума - Насосы для высокого вакуума
Оглавление
Молекулярные насосы
Страница 2
Страница 3
Все страницы

Отечественные турбомолекулярные насосы выпускаются двух типов: насосы TBH (рис. 343) и TMH (рис. 344, 345). Насосы работают последовательно с форвакуумными, создающими давление до 5. 10-3 мм рт. ст. (табл. 66). В статорных и роторных дисках выполнены радиальные косые пазы. Пазы статорных дисков расположены зеркально по отношению к пазам роторных дисков. Роторные и статорные диски и втулка ротора изготовлены из алюминиевого сплава. Корпус насоса и детали, расположенные в полости разрежения, изготовляют из коррозионностойкой стали. Характеристики насосов приведены на рис. 346.

 

 

 

Компания СОЖЭВ (Франция) производит турбомолекулярный насосный агрегат, состоящий из турбомолекулярного насоса (650 л/с), диффузионного масляного насоса (100 л/с) и форвакуумного пластинчато-роторного(30 м3/ч). Предельное давление, создаваемое этим агрегатом, ниже 10-10 мм рт. ст.

 

В новых конструкциях турбомолекулярных насосов передняя статорная решетка заменена тонкими профилями, что дает значительный эффект (рис. 347).

На рис. 348 показан турбомолекулярный агрегат ТВА-200 отечественного производства. Турбомолекулярный высоковакуумный агрегат ТВА-500М состоит из насоса ТВН-500М (модернизированного), форвакуумного насоса ВН-20-2, магнитного клапана MK с Ду-50 мм и пульта управления.

 

Таблица 66

Основные характеристики турбомолекулярных насосов

Параметры

Значения параметров для насосов

TBH-200

TBH-500

TMH-200

Предельное давление,создаваемое

насосом, в мм рт. ст.

 

5* 10-9

 

 

5* 10-9

 

 

1 * 10-9

 

Скорость откачки воздуха при давлениях 5-10-3—5 -10-6 мм рт. ст. в л/

200

 

500

 

250

Мощность электродвигателя

в кВт

 

0,4

 

0,8

 

0,3

Рекомендуемый

форвакуумный насоc

ВН-2МГ или BH*10-2

 

 

 

Техническая характеристика агрегата ТВА-500М

Предельный вакуум, измеренный во входном патрубке, в мм рт. ст.............. (1—2)*10-9

Скорость откачки воздуха при 20° С и давлениях 1*10-4 — 1•10-8 мм рт. ст. (не менее) в л/с 50

Частота вращения в об/мин ..... 12 000

Мощность в кВт .......... 2,5

Расход воды в л/ч . . .120

Габаритные размеры в мм 1010x 820x 940 Масса в кг .......500

 


Рабочая область давлений турбомолекулярных насосов от 2•1O-10 до 10-5 мм рт. ст. В начале откачки турбомолекулярный насос оказывает некоторое изменяющееся сопротивление потоку, обеспечиваемому форвакуумный насосом, и лишь после достаточного снижения давления и уменьшения потока получает возможность создавать разрежение.

Поэтому недостаточная производительность форвакуумного насоса или большое сопротивление форвакуумной коммуникации могут привести к тому,что турбомолекулярный насос не достигнет максимальной расчетной скорости откачки, особенно по откачке легких газов, по которым насос имеет более крутой спад характеристики скорости откачки с увеличением степени сжатия.

Беляев в своих работах показал, что действие турбомолекулярного насоса можно рассматривать как динамически регулируемое сопротивление.

Иначе говоря, газ откачивается здесь в результате меняющегося сопротивления проходного сечения каналов диска при работе насоса. Поэтому и отпадает необходимость в создании весьма малого зазора.

 

 

 

Рис. 346. Кривые скорости откачки некоторых промышленных турбомолекулярных насосов

 

 

 

Была экспериментально определена зависимость скорости откачки и коэффициента сжатия от угла установки передней грани лопатки и от степени сужения канала. Опыты показали, что наиболее выгодны диски с тонкими лопатками, закрученными по высоте пропорционально радиусу диска с увеличением угла установки передней грани лопатки.

Такие диски имеет насос TBH-1000, скорость откачки которого в 2 раза больше, чем у насоса TVP-2000 (ФРГ),хотя габаритные размеры их одинаковы.




 

Добавить комментарий


Защитный код
Обновить

   

 

Сейчас на сайте

Сейчас на сайте находятся:
 112 гостей на сайте

Нов боков адс адаптивный

=
Рейтинг@Mail.ru