Верхний предел рабочего давления насоса определяется давлением паров рабочей жидкости в сопле. Что касается нижнего предела давления, то не существует принципиальных причин, ограничивающих достижение сверхнизких давлений, поэтому в настоящее время система диффузионных и ротационных насосов чаще других используется в системах сверхвысокого вакуума. Предельное остаточное давление, создаваемое диффузионным насосом, зависит от следующих факторов: 1) обратной диффузии (против струи пара) откачанных молекул газа; 2) давления насыщенных паров рабочей жидкости или продуктов ее разложения; 3) выделения газа из конструкционных элементов насоса; 4) растворения откачиваемого газа в рабочем теле и последующего его выделения при нагревании.

Обратная диффузия приводит к уменьшению величины отношения давлений на входе и на выходе насоса. Так же как и в случае механических насосов, это отношение называется степенью сжатия. В случае диффузионного насоса степень сжатия зависит от молекулярной массы откачиваемого газа; она меньше для легких газов, таких, как гелий или водород, и значительно возрастает для тяжелых газов, например азота.

Современные диффузионные насосы обеспечивают степень сжатия по водороду 104 и азоту 1010. Такие высокие степени сжатия позволяют достигать сверхвысокого вакуума даже при умеренном форвакууме, но при этом в системе не должно быть значительного количества водорода и гелия.

Таким образом, хотя на величину степени сжатия диффузионного насоса, используемого для создания сверхвысокого вакуума, и следует обращать внимание, очевидно, что требования, предъявляемые к конструкции насоса с этой точки зрения, достаточно нестрогие. Для большинства современных диффузионных насосов характерна высокая степень сжатия.