Таким образом, мы подошли к третьему фактору, ограничивающему предельно достижимое давление, а именно — выделению газа из деталей насоса. Любой газ, выделившийся в самом насосе и особенно в зоне его впускного отверстия, ухудшает рабочие характеристики насоса. Проблема газовыделения из конструктивных элементов вакуумной установки была подробно рассмотрена в предыдущей главе. Материалы, из которых изготовлен насос, должны быть газонепроницаемы, а также иметь

низкую скорость газовыделения. Поскольку скорость газовыделения значительно уменьшается в результате отжига, элементы конструкции насоса, в первую очередь маслоотражатель и ловушка, должны проектироваться с учетом необходимости их отжига при температуре, по крайней мере, 250 0C.

Корпуса современных промышленных диффузионных насосов изготовляются из нержавеющей стали, а сопла — из никелированной меди или стали. Характеристики этих материалов вполне удовлетворяют высоким требованиям, предъявляемым к материалам, используемым в технике высокого вакуума.

Однако подсоединение насоса к ловушке и к вакуумируемой системе обычно осуществляется с помощью эластомерных кольцевых уплотняющих прокладок. Даже если эти прокладки изготовляются из прогреваемого эластомера, например витона-А, насос редко рассчитывают на многократный прогрев. В настоящее время выпускаются насосы усовершенствованной конструкции, в которой вместо прокладки из эластомера используется нагреваемое фланцевое соединение с металлической прокладкой.

Такое конструкторское решение позволяет прогревать верхнюю половину насоса до ~ 250°С, в результате чего скорость газовыделения снижается до приемлемого уровня. В конструкции, разработанной фирмой Edwards High Vacuum под торговым названием «Диффстэк» (рис. 3.4), в о дном корпусе собран как сам насос, так и маслоотражатель, охлаждаемый проточной водой. Это позволило уменьшить число соединений и количество металла, требующего обезгаживания. Поскольку маслоотражатель находится в уширенной части насоса, скорость откачки практически не уменьшается. Соединение насоса с вакуумной системой осуществляется посредством металлических прокладок.