Электроразрядные насосы отличаются довольно высоким давлением пуска (порядка 1 Па). Однако при таких давлениях скорость откачки мала, и происходит высокое рассеяние мощности на электродах. В результате этого насос перегревается, что в свою очередь вызывает энергичное газовыделение со скоростью, превышающей скорость откачки. Кроме того, при высоких начальных давлениях откачки ресурс работы катода уменьшается вследствие высокой скорости его распыления. Поэтому до запуска насоса желательно получить предварительное разрежение (по крайней мере 10^-1 Па). При разрежении ~10^-4 Па ресурс работы насоса составляет несколько десятков тысяч часов.

Главным преимуществом электроразрядных насосов является получение с их помощью вакуума, свободного от загрязняющих примесей органических веществ. Следовательно, не возникает необходимости использовать с этими насосами охлаждаемые ловушки или отражатели, что, в свою очередь, позволяет полностью реализовать собственную скорость откачки насоса, а также открывает возможность размещения насоса непосредственно в вакуумной камере. Эти насосы характеризуются очень низким предельным остаточным давлением (ниже 10^-8 Па) и простотой в эксплуатации.

Для большинства электроразрядных насосов требуется только источник электропитания, который не нуждается в специальном обслуживании и устройствах защиты. По току разряда в насосе можно оценивать давление в системе, и при незначительном изменении схемы блока питания насос можно использовать в качестве течеискателя.

Для реализации способности ионных насосов создавать вакуум, свободный от углеводородных загрязнений, следует применять их совместно с цеолитовыми. Однако возможно использование и масляных ротационных насосов с охлаждаемыми ловушками. В этом случае сразу после достижения давления 10^-1 Па ротационный насос отключается и включается ионный насос. К недостаткам ионных насосов следует отнести их ограниченную газовую емкость, низкую скорость откачки инертных газов, а также наличие сильных магнитных полей, присутствие которых в некоторых случаях недопустимо.