Чистый вакуум. Такое требование, как правило, предъявляется к проведению технологического процесса. Это означает отсутствие углеводородных загрязнений и отсутствие в масс-спектре значительных пиков с массовыми числами более чем 48 а.е.м.

В геттерно-ионных и криогенных насосах нет конструкционных материалов, содержащих углеводороды. Поэтому они не загрязняют рабочую камеру ни во время стабильной работы, ни при запуске, ни при аварии.

Турбомолекулярные насосы (TMH) со смазываемыми подшипниками не вносят углеводородных загрязнений во время работы,при правильном отсечении насоса и при правильных действиях в случае аварийного прорыва воздуха. Во время работы TMH лопатки вращающегося ротора сами являются динамической ловушкой для тяжелых молекул углеводородов, стремящихся проникнуть в рабочую камеру. Поэтому нельзя оставлять TMH после выключения под вакуумом, гак как при неподвижном роторе углеводороды свободно проникают в рабочую камеру; надо осторожно напустить сухой воздух на вход ТМН. В случае кратковременного отключения электроэнергии можно не производить напуска воздуха в ТМН, пока скорость ротора не уменьшится в 2 раза по сравнению с рабочей, а в вакууме это займет значительнее время. Если в течение этого времени подача электроэнергии возобновится, тогда насос можно запустить без сложностей, вызываемых напуском воздуха.

Обратный поток из диффузионных насосов, механизм проникновения молекул в рабочую камеру и факторы, Здесь можно отметить, что при правильно организованной работе с диффузионным насосом, установке ловушек и подборе соответствующей рабочей жидкости, углеводородное загрязнение рабочей камеры очень мало; для образования монослоя может потребоваться от месяца до года Если же при работе насоса произошел "прорыв атмосферы" (попадание атмосферного воздуха в uacoc), то в зависимости от марки используемой вакуумной рабочей жидкости могут потребоваться чистка насоса и замена рабочей жидкости

Обратный поток из механических насосов с масляным уплотнением можно подавить,создав в трубопроводе на входе в насос вязкостный режим течения газа. Поэтому предварительную откачку этими насосами рекомендуется прекращать при 10^-15 Па. Если же требуются более низкие давления, то над насосом устанавливают ловушку.