Криовакуумные насосы в последнее время стали широко использоватьоя в промышленных технологиях и технике эксперимента как эффективное и экономичное средство получения безмасляного вакуума благодаря возможности использования криогенераторов - расширительных газовых холодильных машин (ГХМ).

При непрерывной работе вакуумного насоса удобство ГХМ состоит в том, что для их эксплуатации требуются только электроэнергия и техническая вода и нет необходимости в дополнительном потреблении рабочего газа за счет использования замкнутого холодильного цикла.

Действие крионасосов основано на физических откачивающих эффектах, происходящих при криогенных температурах, а именно а) конденсации газов на охлажденных металлических поверхностях (криоконденсационные вакуумные насосы);б) адсорбции газов на твердых адсорбентах (криоадсорбцнонные насосы);в) сорбции газов на слое предварительно сконденсировавшегося вспомогательного легкоконденсирующегося газа (конденсационно-адсорбционные насосы);г) совместной одновременной конденсации откачиваемого газа и вспомогательного легкоконденсирующегося газа (криозахватные насосы);д) поглощении газов пленками геттерного материала, напыляемого на криопанель вакуумного насоса (криогеттерные вакуумные насосы).

В настоящее время освоены и получили широкое распространение два первых метода.

Крионасосы оцениваются тремя основными параметрами, характеризующими технические возможности вакуумного насоса:давлением запуска, остаточным давлением и быстротой действия. Однако криовакуумные насосы обладают рядом специфических свойств, поэтому их вакуумные характеристики имеют иную природу и зависят от многих факторов.

Давление запуска зависит от температуры криопанели, величины откачиваемого объема, вида откачиваемого газа, значения необходимого предельного остаточного давления насоса. Остаточное давление зависит от температуры криопанели, типа сорбента, начального давления, упругости паров откачиваемого газа. Быстрота действия определяется площадью криопанели, молекулярной массой и температурой откачиваемого газа