Cтраница 1 из 2 Диффузионные и туробомолекулярные насосы. Начнем с рассмотрения широко используемых в настоящее время практике научных исследований и в технологических установим диффузионного и турбомолекулярного насосов, в каждом из которых имеются источники углеводородных загрязнений.
Интерес к турбомолекулярным насосам (TMH) объяснятся целым рядом их достоинств: возможность сверхвысоковакуумной откачки всех гаэов независимо от химической природы и атомной массы: практически свободный от углеводородов спектр остаточных газов; очень высокий коэффициент компрессии, обеспечивающий в принципе достижение сколь угодно низкого давления, в особенности по тяжелым газам, и работу непосредственно на атмосферу (в случае комбинированного насоса с молекулярной частью на выходе); малое энергопотребление; устойчивость к аварийному попаданию атмосферы; малая продолжительность запуска; отсутствие "памяти" по газам; способность длительно продолжать работу в случае отключения питания.
Характерным является то, что высоковакуумные пароструйные наседай, традиционно называемые также диффузионными, и ТМН, несмотря на , принципиальные отличия в конструктивном отношении, имеют почти одинаковые вакуумные характеристики и находят равное применение в вакуумных системах ядерно-физических установок, в Технике получения тонких пленок, в различных установках электронно-оптических приборов, в установках электронной и электротехнической промышленности и т. п.
В то же время между этими типами насосов имеются весьма существенные различия как в вакуумных параметрах С различные скорости откачки различных газов, наибольшее выпускное давление), так и в эксплуатационных характеристиках (стоимость, потребление электроэнергии, простота обслуживания и т.п.). В этой связи встает вопрос о выборе между турбомолекулярными и диффузионными насосами при создании конкретных вакуумных установок.
|