В целом о вакууме и вакуумных системах

Свойства вакуума
Особенности вакуумных систем

Вакуумные материалы и уплотнители

Вакуумные материалы
Уплотнители и и смазки

На заметку

О конструировании вакуумных систем
В целом о вакууме и вакуумных системах - Особенности вакуумных систем
Оглавление
О конструировании вакуумных систем
Общие требования, предъявляемые к вакуумным системам
Все страницы

В настоящее время установки высокого вакуума находят широкое применение в различных областях науки и техники. Главным образом это связано с интенсивными исследованиями высокоэнергетических частиц (ускорители), развитием космической техники (имитаторы условий космического пространства) и изучением поверхности материалов (различного типа приборы для физико-химического анализа поверхности).

Кроме того, существуют и другие области применения сверхвысокого вакуума, когда важно отсутствие любых загрязняющих примесей, в том числе газов. Сверхвысокий вакуум находит применение главным образом в различных областях науки, но и в технологии, особенно электронных приборов, когда часто необходимы давления ниже 10-6 Па. В качестве примера можно привести технологию нанесения эпитаксиальных слоев с помощью молекулярного пучка, используемую при изготовлении интегральных схем, или получение фотокатодов из арсенида галлия, легированного цезием.

Вакуумные системы. Ввиду их многообразия они обычно создаются на основе индивидуальных проектов. Ускорители частиц и имитаторы космических условий являются чрезвычайно дорогими системами, поэтому они конструируются и строятся для конкретного назначения. В то же время оборудование для изучения свойств поверхности тем или иным методом, например LEED (метод дифракции медленных электронов) или SIMS (метод масс-спектрометрии вторичных ионов), разрабатывается и выпускается серийно. Все же в большинстве случаев вакуумные системы собираются на основе выпускаемых серийно узлов и приборов. Эта статья в основном и посвящена общим принципам построения таких вакуумных систем.



 

Добавить комментарий


Защитный код
Обновить

Сейчас на сайте

Сейчас на сайте находятся:
 120 гостей на сайте
=
Рейтинг@Mail.ru