В целом о вакууме и вакуумных системах

Свойства вакуума
Особенности вакуумных систем

Вакуумные материалы и уплотнители

Вакуумные материалы
Уплотнители и и смазки

На заметку

Состав остаточного газа
В целом о вакууме и вакуумных системах - Особенности вакуумных систем
  
  

Состав остаточного газа в рабочей камере зависит от типа насоса, как уже отмечалось, конструкции рабочей камеры (например, применение металлических или эластомерных прокладок) и проводимого в ней технологического процесса.

Ниже приведены возможные источники газов и необычных пиков в масс-спектре остаточного газа, что может помочь в определении причин ухудшения работы установки. В приведенной табл. 3.1 указаны массовые числа пиков масс-спектра, соответствующие им газы и источники их попадания в камеру.

 

Таблица 3.1 Источники газов в масс-спектре остаточного газа

Массовое число

Газ

Источник

1

2

3

2

Водород

Основной компонент в сверхвысоковакуумных системах

Газовыделение из материалов конструкций, сорбировавших его ранее Диссоциация паров воды и вакуумных рабочих жидкостей •

4

Гелий

Газовыделение из эластомеров

Остается после поисков течи гелиевым тече-

искателем

Проницаемость через эластомеры и стекло

16

Кислород

Стимулированная электронной бомбардировкой десорбция из ионных источников масс-спектрометров

13,14,15,16 Метан

Синтезируется в вакуумных системах, откачиваемых магниторазрядными и испарительно-ионными насосами

Не откачивается испарительно-ионным насосом

17

Аммиак

Когда пик 17 вышэ, чем пик 18, есть подозрение на течь

Натекающий азот реагирует с остаточным водородом с образованием аммиака

16,17,18

Вода

Газовыделение хемосорбированней воды с внутренних поверхностей. Преобладает в спектре остаточного газа непрогреваемых систем

19 23

35,37 39

Фтор Натрий Хлор Калий

Стимулированная электронной бомбардировкой десорбция из ионного источника масс-спектрометра

20.22

Неон

Неон и его изотопы

28 28

Оксид углерода

Азот

Синтезируется на накаленных нитях

Возможное натекание (может быть и внутренняя течь) из атмосферы подтверждается пиком 14

30            

Оксид

азота

 

Реакция азота и кислорода на накаленных нитях

30

Этан

Углеводородные загрязнения

32

Кислород

Необычно высокий пик 32 указывает на натекание

33,37

Хлор

Десорбция из ионного источника масс-спектрометра

36,38

Хлорид

водорода

Реакция водорода и хлора

40

Аргон

Натекание - обычно большой пик в вакуумных системах с магниторазрядными насосами

22,44

Двуокись углерода

Десорбция с внутренних поверхностей системы Синтез на накаленных нитях Концентрация СО, обычно вше в вакуумных системах с испарительно-ионными насосами из-за реакции СО и кислорода с образованием СО, на накаленных нитях

16 30 44 58

Углеводород-

ные

загрязнения

Углеводородные загрязнения из насосов с масляным уплотнением

41,43

 

Разложение углеводородных пластиков

58

Ацетон

Индивидуальный масс-спектр:

19 43 58

20 100 27 %

130

Трихлор-

этилен

Индивидуальный масс-спектр: 60 95 130 132 65 100 89 85 %

446

Полифе

-ниловый

эфир

Индивидуальный масс-спектр: 39 51 77 446 10 29 79 100 54%

 

 

 

 

Добавить комментарий


Защитный код
Обновить

Сейчас на сайте

Сейчас на сайте находятся:
 136 гостей на сайте
=
Рейтинг@Mail.ru