В целом о вакууме и вакуумных системах

Свойства вакуума
Особенности вакуумных систем

Вакуумные материалы и уплотнители

Вакуумные материалы
Уплотнители и и смазки

На заметку

Критерии выбора вакуумных насосов
Выбор оборудования - Подбор вакуумных насосов
Оглавление
Критерии выбора вакуумных насосов
Страница 2
Страница 3
Страница 4
Все страницы

Правильный выбор насоса не всегда очевиден. Так, в случае откачивания больших количеств инертных газов, например в установках по напылению, ясно, что сорбционные насосы и особенно связывающие газ химически ионный и сублимационный насосы непригодны. Однако в большинстве случаев трудно однозначно отдать предпочтение какому-либо типу насосов, и поэтому выбор делают обычно на основании личного опыта. Также довольно часто при выборе насоса исходят из характеристик блока питания, размеров и стоимости насоса.

Сравнительные характеристики насосов приведены в табл. Ввиду конструктивного различия этих насосов, изготовляемых различными фирмами, представленные данные могут рассматриваться лишь как ориентировочные. Тем не менее эти данные демонстрируют общую картину преимуществ и недостатков насосов различного типа.

Если главным параметром большинства насосов является скорость откачки, то для сорбционных и сублимационных насосов это не так. С целью удобства сравнения характеристик насосов, используемых для откачки вакуумных систем большого объема, все данные, приведенные в табл. 3.5, нормированы по отношению к рабочему объему, равному 0,5 м3. Отметим, что насосы оптимального размера некоторых типов не выпускаются промышленностью; в этих случаях в таблице приведены данные более крупных насосов, что, однако, не влияет на общую картину.

Сверхвысокий вакуум, как правило, может быть получен только с помощью совокупности насосов нескольких типов. Для систем, в которых можно ожидать высокого натекания газа (например, для установок по напылению или ионному травлению), вероятно, наиболее экономично использовать диффузионный насос в паре с ротационным при условии обеспечения эффективного поглощения паров масел. Однако следует учитывать, что применение отражателей и ловушек паров масла приводит также к уменьшению скорости откачки по крайней мере в 2 раза.

При этом даже в случае самых совершенных насосов этого типа всегда существует вероятность загрязнения системы органическими веществами. Альтернативной откачивающей системой может служить турбомолекулярный насос, к •выходу которого подключен ротационный насос. Турбомолекулярные насосы в последнее время находят все более широкое применение в связи с выпуском насосов улучшенной конструкции.



 

Добавить комментарий


Защитный код
Обновить

   

 

Сейчас на сайте

Сейчас на сайте находятся:
 34 гостей на сайте

Нов боков адс адаптивный

=
Рейтинг@Mail.ru