В целом о вакууме и вакуумных системах

Свойства вакуума
Особенности вакуумных систем

Вакуумные материалы и уплотнители

Вакуумные материалы
Уплотнители и и смазки

На заметку

Геттерно-ионные насосы
Разное - Применение вакуумной техники
Оглавление
Геттерно-ионные насосы
Страница 2
Все страницы

 

Постоянство характеристик геттерно-ионного насоса во многом определяется постоянством скорости испаре­ния титана. Чтобы получить (постоянную во времени скорость испарения титана, необходимо по мере умень­шения запаса титана изменять мощность, подводимую к испарителю. На рис. 4-11 показан график изменения мощности испарителя, позволяющего испарить около 90% запаса титана в испа­рителе с постоянной скоростью 0,12 мг/мин в течение 500 ч ра­боты.

 

Однако в реальных услови­ях эксплуатации использование испарителя при количествах ти­тана в нем менее 30% первона­чального его содержания (на ри­сунке обозначено пунктирной ли­нией) нецелесообразно, так как это сопряжено с большим газовы­делением и соответственно с по­нижением быстроты действия. В процессе работы геттерно-ионного насоса вне зависимости от режима работы испарителя ре­жим работы ионизатора следует

 

 

поддерживать номинальным. На рис. 4-12 показано изменение быстроты действия насоса в зависимости от изменения анодного напряжения при прочих равных условиях. Качественно такая зависимость сохраняется при любой скорости испарения тита­на. Если давление в системе превышает 10-2 Па (10-4 мм рт. ст.), ионизатор должен быть выключен во избежание перегорания катода.

В процессе эксплуатации геттерно-ионных насосов, так же как и геттерных насосов, необходима периоди­ческая чистка корпуса насоса от пленок титана. Необ­ходимая периодичность чистки определяется режимом работы насоса, рабочим давлением, количеством напу­сков атмосферного воздуха, количеством прогревов установки и т д. Рекомендуется чистить насос после полного испарения трех-четырех блоков испарителей. Требования техники безопасности при чистке корпуса геттерных и геттерно-ионных насосов одинаковы.

 

Наиболее частым видом отказа геттерно-ионного на­соса является замыкание электродной системы по изо­ляторам в результате их запыления титаном. Частота отказов выше, если насос в основном работает при вы­соких впускных давлениях. При каждой чистке корпуса насоса необходимо прове­рять сопротивление утечки изоляторов. При каждой второй чистке корпуса насо­са целесообразно восстанав­ливать электрическую проч­

 

ность изоляторов. Механическая очистка изоляторов от запыления, как правило, не дает результата. Изоляторы лучше протравить в плавиковой кислоте. Работая с пла­виковой кислотой, необходимо соблюдать требования техники безопасности при работе с агрессивными жид­костями и кислотами.

 

Другим часто встречающимся видом отказа являет­ся обрыв катода или анодов ионизатора В процессе ра­боты при нагреве они становятся хрупкими и от сильно­го сотрясения могут оборваться. Если это произошло, катод заменяют новым, а анод соединяют втулкой.

 

Требования к системе охлаждения геттерно-ионных насосов такие же, как и требования к системе охлаж­дения паромасляных насосов.

 



 

Добавить комментарий


Защитный код
Обновить

   

 

Сейчас на сайте

Сейчас на сайте находятся:
 139 гостей на сайте

Нов боков адс адаптивный

=
Рейтинг@Mail.ru