Свойства вакуума |
Особенности вакуумных систем |
контрольно-измерительная аппаратура |
Течеискатели |
Вакуумные материалы |
Уплотнители и и смазки |
Вакуумные вентили и переходники |
Запорные устройства |
Способы соединения вакуумных систем |
Общие принципы |
Подбор вакуумных насосов |
Масляные средства откачки |
Вакуумометрические приборы |
Вакуумные установки |
Сорбционные средства откачки |
Физические явления в вакууме |
Геттерно-ионные насосы |
Разное - Применение вакуумной техники | ||||
Cтраница 2 из 2
Постоянство характеристик геттерно-ионного насоса во многом определяется постоянством скорости испарения титана. Чтобы получить (постоянную во времени скорость испарения титана, необходимо по мере уменьшения запаса титана изменять мощность, подводимую к испарителю. На рис. 4-11 показан график изменения мощности испарителя, позволяющего испарить около 90% запаса титана в испарителе с постоянной скоростью 0,12 мг/мин в течение 500 ч работы.
Однако в реальных условиях эксплуатации использование испарителя при количествах титана в нем менее 30% первоначального его содержания (на рисунке обозначено пунктирной линией) нецелесообразно, так как это сопряжено с большим газовыделением и соответственно с понижением быстроты действия. В процессе работы геттерно-ионного насоса вне зависимости от режима работы испарителя режим работы ионизатора следует
поддерживать номинальным. На рис. 4-12 показано изменение быстроты действия насоса в зависимости от изменения анодного напряжения при прочих равных условиях. Качественно такая зависимость сохраняется при любой скорости испарения титана. Если давление в системе превышает 10-2 Па (10-4 мм рт. ст.), ионизатор должен быть выключен во избежание перегорания катода. В процессе эксплуатации геттерно-ионных насосов, так же как и геттерных насосов, необходима периодическая чистка корпуса насоса от пленок титана. Необходимая периодичность чистки определяется режимом работы насоса, рабочим давлением, количеством напусков атмосферного воздуха, количеством прогревов установки и т д. Рекомендуется чистить насос после полного испарения трех-четырех блоков испарителей. Требования техники безопасности при чистке корпуса геттерных и геттерно-ионных насосов одинаковы.
Наиболее частым видом отказа геттерно-ионного насоса является замыкание электродной системы по изоляторам в результате их запыления титаном. Частота отказов выше, если насос в основном работает при высоких впускных давлениях. При каждой чистке корпуса насоса необходимо проверять сопротивление утечки изоляторов. При каждой второй чистке корпуса насоса целесообразно восстанавливать электрическую проч
ность изоляторов. Механическая очистка изоляторов от запыления, как правило, не дает результата. Изоляторы лучше протравить в плавиковой кислоте. Работая с плавиковой кислотой, необходимо соблюдать требования техники безопасности при работе с агрессивными жидкостями и кислотами.
Другим часто встречающимся видом отказа является обрыв катода или анодов ионизатора В процессе работы при нагреве они становятся хрупкими и от сильного сотрясения могут оборваться. Если это произошло, катод заменяют новым, а анод соединяют втулкой.
Требования к системе охлаждения геттерно-ионных насосов такие же, как и требования к системе охлаждения паромасляных насосов.
|
= | |