Включают магниторазрядный вакуумметр и откачивают камеру до давления 2,5•1O^-3—5•1O^-3 Па (50—80 мкА по шкале магниторазрядного вакуумметра). Включают катод ионно­го источника и фиксируют установившиеся показания ат стрелочно­го прибора выносного пульта управления ВПУ. Закрывают клапан «Гелиевая течь». При этом отсчет течеискателя начнет уменьшаться Рассчитывают чувствительность течеискателя к потоку гелия но формуле

где Sq — чувствительность течеискателя к потоку гелия; Q — величи­на потока гелия калиброванной гелиевой течи.

Чем меньше численная величина Sq1 тем лучше, так как это означает, что меньшему потоку гелия, поступающему в течеиска­тель, будет соответствовать больший отсчет течеискателя.

Градуировка течеискателей, в которых отсутствует встроенная течь, осуществляется следующим образом. Через клапан 8 (рис. 7-4) к течеискателю подсоединяется калиброванная гелиевая течь. Через клапан 7 подсоединяется вспомогательный насос.

Течеискатель вклю­чается в рабочий режим. Вспомогательным насосом через клапаны 7 и 8 производится откачка гелиевой течи до давления 2,5—5 Па. Выключается катод масс-спектромет-рической камеры. Закрывается клапан 7, открывается дросселирую­щий клапан 6 течеискателя. Выключается вспомогательный насос. После установления давления в камере фиксируют показания тече­искателя. Закрывают клапан 8 и после стабилизации показаний течеискателя фиксируют фон аф. Закрывают клапан 6. Производят расчет чувствительности течеискателя.

Хотя градуировка течеискателя производится по потоку гелия, в действительности его масс-спектрометрический анализатор опреде­ляет концентрацию гелия в камере. Соответствие установившейся концентрации гелия в камере и потока гелия, поступающего в тече­искатель, устанавливается известной формулой.

где Pv — давление гелия в камере, Qr — поток гелия в течеискатель, Sr — быстрота откачки камеры по гелию

Изменение быстроты действия диффузионного насоса по гелию в зависимости от мощности подогрева насоса открывает возможно­сти для регулирования чувствительности течеискателя. При снижении

мощности подогрева снижается быстрота действия по гелию При этом быстрота действия по воздуху в широком диапазоне остается практически постоянной Это позволяет повысить чувствительность течеискателя в результате увеличения давления гелия в камере при том же потоке гелия и сохранении общего давления в камере При изменении мощности, подводимой к нагревателю пароструйного на­соса, должна быть произведена повторная градуировка течеискателя

С помощью гелиевого течеискателя может производиться как контроль герметичности, так и поиск течей Для повышения досто­верности и обеспечения большей точности измерений градуировку течеискателя следует производить при рабочем давлении в камере, давлении, которое будет в процессе испытаний

Предельные возможности течеискателя характеризуются мини­мальным потоком гелия, который регистрируется течеискателем

(7-2)

где Ааф — максимальная амплитуда флюктуации фона; 2Ааф — отсчет течеискателя, принимаемый за достоверный

Расширения предельных возможностей течеискателя (снижения Qmhh) можно достичь повышением его чувствительности (снижением численного значения Sq) в результате снижения мощности подогре­ва пароструйного насоса Однако следует иметь в виду, что одно­временно с повышением чувствительности повышается флюктуация фона Так, увеличение чувствительности при снижении напряжения на нагревателе насоса ниже 180 В полностью компенсируется увели­чением флюктуации фона течеискателя.

С помощью масс-спектрометрического течеискателя контроль герметичности и поиск течей осуществляются способами обдува и гелиевых чехлов (камер), способом щупа, барокамеры, вакуумных присосок и способом накопления Способ обдува и гелиевых чехлов в основном применяется для испытаний вакуумных систем с собст­венными средствами откачки и элементов вакуумных систем В этом случае на наружную поверхность изделия подается пробный газ Во гнутренней полости изделия создается разрежение и фиксируется проникновение в нее пробного газа.

Способы щупа, барокамеры и вакуумных присосок применяются для испытаний изделий, в которых нельзя или нецелесообразно со­здавать разрежение В этом случае в изделии создается избыточное давление пробного газа и фиксируется проникновение его на наруж­ную поверхность. Способом вакуумных присосок, кроме того, могут быть испытаны изделия без замкнутой оболочки, например листы металла на сплошность. Способ накопления может явиться разно­видностью любого из перечисленных способов, за исключением, пожалуй, способа щупа