Свойства вакуума |
Особенности вакуумных систем |
контрольно-измерительная аппаратура |
Течеискатели |
Вакуумные материалы |
Уплотнители и и смазки |
Вакуумные вентили и переходники |
Запорные устройства |
Способы соединения вакуумных систем |
Общие принципы |
Подбор вакуумных насосов |
Масляные средства откачки |
Вакуумометрические приборы |
Вакуумные установки |
Сорбционные средства откачки |
Физические явления в вакууме |
Магниторазрядные насосы |
Разное - Применение вакуумной техники | ||||||
Cтраница 2 из 4
Электродный блок насосов типа НОРД (рис. 4-19) состоит из двух катодов и одного охлаждаемого водой анода. Соосно с ячейками анода (рис. 4-19,6) в катодных !пластинах просверлены отверстия (рис. 4-19,а). Наличие отверстий в катодных пластинах и охлаждение анодов позволили использовать более мощный источник питания и повысить тем самым наибольшее давление запуска.
Электродные блоки устанавливаются в карманах корпуса насоса и закрепляются в нем с помощью вакуумных водяных вводов, через которые подается вода на охлаждение анодов. В насосах с охлаждаемыми анодами в отличие от насосов типа НЭМ высокое отрица-
ЯР тельное напряжение (минус 7 кВ) подается на катоды, электрически изолированные от корпуса.
Анод и коллектор триодного магниторазрядного насоса ТРИОН-150 (рис. 4-21) при работе в области высоких впускных давлений охлаждаются водой, а в области низких давлений — жидким азотом, что позволяет повысить наибольшее давление запуска и существенно снизить предельное остаточное давление.
Основными характеристиками магниторазрядных насосов являются быстрота действия, предельное остаточное давление, наибольшее давление запуска и наибольшее рабочее давление. Характеристики насосов, которые приведены в приложении 8, определяются геометрией разрядных ячеек, параметрами источника питания и напряженностью магнитного поля.
Типичные графики быстроты действия магниторазрядных насосов представлены на рис. 4-22. Как видно из графиков, охлаждаемые насосы обладают большей быстротой действия в области высоких впускных давлений. Различие в положении максимума быстроты действия не связано с охлаждением насоса, а определяется некоторым различием в геометрии разрядных ячеек. На этом же рисунке приведена зависимость тока разряда от давления.
Построенная в логарифмических координатах, она в широком диапазоне давлений представляет собой почти прямую линию, что позволяет использовать показывающий прибор блока питания насоса для оценки давления в системе. Ток разряда и быстрота действия в отличие от других характеристик насоса — наибольшего давления запуска, наибольшего рабочего давления и предельного остаточного давления — являются наиболее стабильными в процессе эксплуатации характеристиками магниторазрядного насоса.
Эксплуатация и обслуживание. Магниторазрядные насосы поступают с завода-изготовителя герметично закрытыми, откачанными до давления в несколько Паскаль или заполненными сухим азотом. Магниторазрядный насос обычно соединяют непосредственно с откачиваемым сосудом. Сохраняемость насосов при транспортировании очень высокая, и, как правило, при получении насоса не требуется специальных проверок его работоспособности. Однако определенный минимум про
вероч'ных операций бывает полезен. К ним относится проверка сопротивления утечки между электродами и проверка работоспособности блока питания. Блок питания бывает достаточно проверить на наличие высокого напряжения. Для проверки сопротивления утечки между электродами необходимо снять с насоса магнитную систему, подключить один провод 2,5-киловольтного мега-омметра к высоковольтному вводу через разъем, аналогичный разъему соединительного кабеля блока питания, а другой провод к корпусу насоса и измерить сопротивление утечки. Сопротивление утечки должно быть не менее 1000 МОм.
После проверки насос устанавливают в вакуумную систему, снабженную средствами предварительной откачки, и устанавливают магниты. Магниты в насосе располагаются таким образом (см. рис. 4-18), что силовые магнитные линии замыкаются, проходя через все магниты и магнитопроводы. Боковые магниты, расположенные с боковых сторон насоса, приклеиваются на заводе-изготовителе к металлическому листу, являющемуся магнитопроводом. Центральные магниты, вставляемые в пазы корпуса насоса, склеиваются попарно. Устанавливать магниты удобнее в следующей !последовательности.
Вначале закрепляют на корпусе насоса боковые магниты. Перемена местами при установке пластин с боковыми магнитами не имеет значения, так как в любом случае вектор напряженности магнитного поля в насосе сохранит свое направление. Затем устанавливают центральные магниты. В результате взаимодействия магнитных полей боковых и устанавливаемого магнитов последний должен втягиваться в паз корпуса насоса. Если при установке магнит разворачивает, а после установки он выталкивается назад, то необходимо перевернуть магнит. Затем охлаждаемые насосы подключают к системе подачи и слива воды.
Подсоединяют блок питания. Создают предварительное разрежение и производят пробное включение насоса. Если давление в системе понижается, то перекрывают линию предварительного разрежения и откачивают сосуд до давления 10~5 Па (Ю-7 мм рт. ст.). В ходе пробного включения насоса необходимо обратить внимание на уровень шума блока питания в период старта и на время откачки системы от 10~2 Па (10~4 мм рт. ст.) до 10-4 Па (10-6 мм рт. ст.). Этот период должен длиться несколько минут.
Сильная вибраци^блока питания в момент включения и в период старта насоса обычно свидетельствует о нарушении плотной упаковки магнитонровода силового трансформатора.Период старта насоса должен проходить под наблюдением оператора, который следит за работой насоса по показывающему прибору блока питания и вакуумметру, всегда имеющемуся в системе. Графики изменения во времени давления в системе, напряжения на электродных блоках и тока разряда насоса в период старта приведены на рис. 4-23. |
= | |