Перед запуском установки необходимо произвести пробные включения всех элементов. Перед включением механических насосов проверяют направление вращения его электродвигателя.

Для этого на обесточенной уста­новке снимают приводные ремни механического насоса, затем подают электропитание на установку и включают электродвигатель. Правильным будет вращение вала электродвигателя по часовой стрелке, если смотреть на него со стороны шкива.

Запорную арматуру с электромеханическим приво­дом вручную устанавливают в среднее положение. По­дачей напряжения на открытие и закрытие проверяют срабатывание всех элементов запорной арматуры.

Кратковременно включают все нагреватели. Создают или имитируют условия для срабатывания блокировок. Проверяют работоспособность всех элементов вакуумной установки.

При условии положительного результата проверок элементов вакуумной установки приступают к получе­нию предельного остаточного давления в откачиваемом сосуде. При этом, как уже говорилось, установка окон­чательно будет подготовлена к ее эксплуатации.

Если остаточное давление в рабочей камере заметно превышает ожидаемое давление, необходимо определить, чем вызвано высокое давление — натеканием или газо­выделением. Если манометрический преобразователь соединен с вакуумной системой через заливную азотную ловушку, в нее заливают жидкий азот. Если под мано­метрическим преобразователем нет ловушки, то соеди­нительный патрубок обматывают ватой и на нее нали­вают жидкий азот. Резкое снижение давления (на поря­док и больше) будет свидетельствовать о большом газовыделении. Уменьшение давления в 2—5 раз будет свидетельствовать о незначительном газовыделеиии и заметном натекании.

Манометрическим методом, см. гл. 7, оценивают величину натекания в рабочую камеру. Оценивают место расположения крупных течей: в рабо­чей камере или иод затвором на стороне высоковакуум­ной части. О натекании на форвакуумной стороне мож­но судить по величине форвакуумного давления. Когда определен участок расположения основных течей, при­ступают к поиску и устранению течей. Методика поиска течей была изложена в предыдущей главе.

Вначале обнаруживают и устраняют крупные течи. Для этого, если поиск ведется с помощью масс-спектро-метрического течеискателя методом обдува, работают с большой струей пробного газа. Течи во фланцевых со­единениях надо попытаться устранить дополнительной затяжкой соединения. Не допускается использование всякого рода замазок, так как с их помощью очень ча­сто течь не устраняется полностью, а если и устраняется, остается вероятность открытия течи в любой момент времени, в том числе и в самый неблагоприятный. Если дополнительной затяжкой течь не устраняется, необхо­димо разобрать соединение, убедиться в целостности фланцев, в отсутствии рисок и забоин на уплотняющих элементах, заменить уплотнитель и вновь произвести затяжку соединения.

Течи по сварным швам и металлу устраняются до­полнительной подваркой.

Прежде чем производить под-варку, необходимо убедиться в абсолютно точном обна­ружении места расположения течи. Делают это следую­щим образом. Берут обдуватель с очень тонким кана­лом, например, в качестве обдувателя может быть использована тонкая игла от медицинского шприца. Создают слабый поток пробного газа на выходе из обду­вателя. Поднесение обдувателя точно к течи дает макси­мальный отсчет течеискателя, в то время как смещение его в сторону всего на 2—3 мм резко снижает, а иногда и вообще исключает реакцию течеискателя.

По мере устранения крупных течей легче обнаружи­ваются все более мелкие течи. После обнаружения и устранения течей в оболочке вакуумной системы прове­ряется на герметичность запорная арматура. После за­крытия затвора или клапана в предварительно откачан­ную полость, отделенную от течеискателя проверяемым клапаном или затвором, подается пробный газ и фикси­руется реакция течеискателя. Так, например, в случае установки с диффузионным насосом, закрытием высоко­вакуумного затвора и подачей пробного газа в рабочую камеру установки течеискателем, установленным в фор­вакуумной линии, проверяется герметичность затвора и клапана на байпасной линии.

Устранение всех течей — непременное условие, необ­ходимое для получения предельного остаточного давле­ния в рабочей камере. Для сверхвысоковакуумных уста­новок вторым непременным условием является прогрев с целью обезгаживания всей высоковакуумной части вакуумной системы под откачкой. Следует особо под­черкнуть, что необходим одновременный прогрев всей высоковакуумной части. Если учесть, что прогрев произ­водится обычно с целью понижения остаточного давле­ния на порядок и более, а оставшиеся непрогретыми, например, 10% внутренней поверхности вакуумной си­стемы вдвое снижают эффективность прогрева, это тре­бование становится очевидным.

Запорная арматура вакуумной системы допускает прогрев только в открытом состоянии. В то же время на рабочей камере ряда сверхвысоковакуумных прогре­ваемых установок стоит запорная арматура, соединяю­щая камеру с непрогреваемыми системами, например системами напуска газа. При подготовке такой системы к прогреву во фланцевое соединение, обращенное к не-прогреваемой части установки, вместо кольцевого ме­таллического уплотнителя ставят диск из того же метал­ла диаметром, равным внешнему диаметру уплотнителя. Такой диск на время прогрева заменит уплотнитель и пару седло—заслонка. Прогрев будет произведен в от­крытом состоянии. После окончания прогрева и закры­тия клапана диск заменяют на обычный уплотнитель.

В процессе прогрева может произойти ослабление затяжки некоторых фланцевых соединений. Поэтому после остывания установки, если не достигается нуж­нoe давление, полезно произвести подтяжку фланцевых соединений.

Присутствие на поверхности деталей трещин, каких-либо других механических дефектов и окислов затруд­няет процесс обезгаживания. Обычно прогрев установки производится при температуре 350—450 ⁰C в течение 10—20 ч. За это время основная масса газа удаляется с поверхности и частично из глубин материала. После охлаждения поток газовыделения постоянен во времени, так как обусловлен в основном диффузией газа из глу­бин материала. Этим объясняется, что длительной от­качкой после полного охлаждения установки не удается достичь заметного понижения давления. Если необхо­димо дальнейшее понижение остаточного давления, боль­ший эффект даст повторный прогрев установки.