В целом о вакууме и вакуумных системах

Свойства вакуума
Особенности вакуумных систем

Вакуумные материалы и уплотнители

Вакуумные материалы
Уплотнители и и смазки

На заметку

Особенности титаново-испарительного насоса ТИС-6
Примеры и лабораторные работы - Сорбционные средства откачки

Конструкция насоса ТИС-6 приведена ниже.Внутри охлаждаемого водой корпуса смонтирован испаритель титана, представляющий собой вольфрамовую проволоку диаметром 1,2—1,5 мм, на которую набираются титановые шайбы. Часть вольфрамового подогревателя, свободная от титановых шайб, вместе с сеткой представляет собой ионизатор, предназначенный для увеличения быстроты откачки по инертным газам, в частности по аргону.

В рабочем режиме вольфрамовый катод нагревается током до температуры, при которой происходит интенсивное распыление титана. Свободная от шайб часть катода имеет при этом несколько более высокую температуру 2500° С и дает значительную электронную эмиссию (200—300 мА). Распыленный титан осаждается на поверхности холодных стенок насоса и сорбирует газ.

Под действием поданного на сетку положительного напряжения электроны устремляются к ней, попадают в потенциальную яму катод —сетка — корпус и совершают колебания у сетки, ионизуя при своем движении молекулы газа. По характеристикам насос ТИС-6 сходен с насосами СИН и ГИН, предельный вакуум насоса порядка 10-7 тор для системы без прогрева. При прогреве до температур 400—450° С можно получить предельное разрежение порядка 10-9 тор.

Насос запускают в работу после получения предварительного разрежения не хуже 4*10-2 тор. Следует помнить, что при первом запуске давление в откачиваемом

объеме резко повышается, так как детали испарителя и сетки должны пройти обезгаживание, поэтому желательно получить предварительное разрежение порядка 10- 3 тор. После прогрева и обезгаживания деталей испарителя давление быстро убывает.

При давлении 10-3 тор рекомендуется включать сеточное напряжение, величина которого обычно 500—700 в. Включение сеточного напряжения также вызывает некоторое ухудшение вакуума, так как облучение сетки электронным током освобождает с нее определенное количество сорбированных молекул. Через несколько десятков минут вакуум быстро улучшается до предельного, определяемого балансом натекания газоотделения и сорбирующей способностью титанового слоя.

Хорошая работа насоса ТИС-6 сильно зависит от наличия масла и других загрязнений в вакуумной системе. Даже небольшое количество форвакуумного масла, попадающее в систему при работе механических насосов, может осложнить операции по вводу насоса в режим, а в отдельных случаях полностью вывести его из строя. Следует пользоваться следующим порядком запуска насоса.

1. Получить в системе предварительное разрежение порядка 2 • 10-1 тор.

2. Подать воду в систему охлаждения насоса. Расход воды в рубашке насоса должен быть около 2 л/мин.

3. При давлении 4-10~2 тор подать напряжение на испаритель, постепенно поднимать в течение 1 ч 30 мин ток накала от 0 до 70 А. При этом может наблюдаться ухудшение вакуума, так как происходит обезгаживание всех деталей насоса.

4. При давлении 10-2 тор отсоединить от системы форвакуумный насос.

5. При давлении 10-3 тор на электроды насоса подать высокое напряжение.

В том случае, если вакуумная система ранее не сообщалась с атмосферой и в насосе осталось разрежение порядка 10-1 тор, ток накала вводится от 0 до 70 а в течение 5—10 мин.

 

Добавить комментарий


Защитный код
Обновить

Сейчас на сайте

Сейчас на сайте находятся:
 131 гостей на сайте
=
Рейтинг@Mail.ru