Независимо от того, какой механизм привода используется, всегда существует необходимость в смазывании трущихся деталей; иначе может происходить залипание или даже холодная сварка металлических компонентов. Поэтому возникает проблема создания соответствующей смазки, которая не загрязняла бы вакуумную систему и допускала нагрев. Этим требованиям не удовлетворяет большинство известных жидких и твердых вакуумных смазок.

Проблема смазки также весьма важна для устройств, работающих в космосе, поэтому она в последнее время тщательно изучается. Предлагаются различные варианты решения этой проблемы: от использования мягких металлов, таких, как свинец или серебро, для покрытия шарикоподшипников, до применения сухих пленок из смеси дисульфида молибдена с графитом. Тефлоновые детали или покрытия также дают хорошие результаты, если система не нагревается до высоких температур.

Были предложены также магнитные подшипники, которые позволяют удерживать вращающиеся детали или узлы в подвешенном состоянии. Наилучшим решением проблемы смазки подшипников в системах сверхвысокого вакуума является использование тонкопленочных покрытий из мягких металлов либо из твердых материалов, обладающих низким коэффициентом трения (сульфида молибдена или стеклографита).