Другой подход к определению разрешающей способности связан с измерением (в %) вклада пика, соответствующего массе М, в соседние массы M—1 и М +1 (см. рис. 5.2,б). Разрешающая способность масс-спектрометра по обоим определениям может быть оценена путем анализа формы пика единичного иона массы M и измерения ширины пика на некоторой ее высоте.

Чувствительность масс-спектрометра обычно определяется как отношение ионного тока, создаваемого ионами данной массы газа, к парциальному давлению этого газа в ионном источнике. Это определение отличается от определения чувствительности, принятого для ионизационных вакуумметров, поскольку чувствительность масс-спектрометра зависит от ионизирующего электронного тока.

Однако для большинства спектрометров рабочие режимы источников электронов оптимизированы и выбраны таким образом, чтобы приведенное определение чувствительности было достаточно справедливым. Следует отметить, что чувствительность масс-спектрометра в различных диапазонах спектра неодинакова ввиду разной эффективности ионизации и других факторов. Поэтому чувствительность соотносят с определенным газом (как правило, азотом). Чувствительность большинства спектрометров ниже, чем ионизационных вакуумметров. Это объясняется малыми размерами источника электронов, необходимого для создания практически моноэнергетического пучка ионов.

Однако благодаря хорошей экранировке коллектора в масс-спектрометрах отсутствует фоновый ток, вызываемый рентгеновским излучением, поэтому, используя электронный умножитель, можно повысить чувствительность прибора.Минимальный регистрируемый ток определяет минимальное парциальное давление газа р_мин, которое может быть измерено прибором (порог чувствительности). В этом случае относительная чувствительность определяется как отношение р_мин парциального давления данного газа к общему давлению смеси остаточных газов.

После этой по необходимости краткой характеристики основных параметров масс-спектрометров остановимся на требованиях к анализу остаточных газов в условиях сверхвысокого вакуума. Как и в случае ионизационного вакуумметра, сорбция и десорбция у спектрометра должны быть минимальными, поэтому он должен допускать прогрев, по крайней мере, до 200 ⁰C без изменения характеристик. Если перед прогревом электронные и магнитные блоки необходимо демонтировать, то такая операция не должна вызывать необходимости повторной градуировки спектрометра.

Кроме того, детали масс-спектрометров должны иметь небольшую поверхность и минимальную скорость газовыделения. Таким образом, материалы деталей масс-спектрометра должны удовлетворять требованиям, предъявляемым к материалам, используемым в условиях сверхвысокого вакуума. Корпус масс-спектрометра должен изготовляться из материала с незначительной газовой проницаемостью. Для уменьшения до минимума откачивающего эффекта, а также для предотвращения нагревания прибора в процессе работы следует использовать малые токи эмиссии.