В вакууме возможно получение тонких металлических пленок в результате испарения металла с последующей его конденсацией на покрываемой поверхности (так называемой подложке). Например, серебрение в производстве зеркал почти везде заменено конденсацией в вакууме тончайшей пленки алюминия. Разработаны установки для металлизации в вакууме фольги из пластмассы и текстильной ткани. Для различных отраслей промышленности создают защитно-декоративные, теплоотражающие и другие покрытия.

Технику испарения в вакууме используют при изготовлении оптических фильтров, просветленной оптики, астрономических зеркал, в производстве совершенных высокоотражающих зеркал для лазеров и интерферометров. В электротехнической промышленности и электронном машиностроении испарение в вакууме используют для производства полупроводниковых выпрямителей тока, металлизации конденсаторной бумаги, нанесения проводящего слоя при изготовлении печатных схем, а также для изготовления элементов микрорадиосхем и памятных элементов электронно-вычислительных устройств.

В автомобильной промышленности металлизируют в вакууме сигнальные кнопки, ручки, фары, зеркала и т. п. Этот способ применяют для получения антикоррозионных покрытий металлов и листовой стали. Например, разработан режим нанесения двухслойных цинко-алюминиевых покрытий последовательным испарением этих металлов в вакуумной камере. Для защиты высокопрочных сталей от коррозии в морских условиях целесообразно применять вакуумные оловянно-кадмиевые покрытия. Цинковы е и кадмиевые покрытия наносят термическим испарением при давлениях 10^-3 10^-4 мм рт. ст.

В ряде случаев вакуумное напыление является единственным методоv получения тонких пленок. Этот метод значительно экономичнее других известных методов массового производства металлизированных изделий. При его использовании механическая обработка поверхностей покрытия минимальна. Способ металлизации в высоком вакууме обеспечивает покрыта пластмасс, фольги, бумаги, тканей тонким металлическим слоем и прочное сцепление его с основным материалом.

В процессе металлизации изделие вращается вокруг испарителя и покрывается слоем металла. Специальные зажимные приспособления должны обеспечивать простое и надежное крепление изделий; приспособления не должны затемнять металлизируемую поверхность. Высоким качеством отличаются пружинные магнитные устройства Можно осаждать в виде тонких пленок и неметаллические материалы, напримep, кварц, фтористый кальций. Физические свойства солей и металлов могут резко изменяться при испарении их в вакууме и образовании тонких пленок; их кристаллическая структура меняется или разрушается.

Большинство пластмасс и специальные сорта бумаги металлизируются при давлении пара ниже 10^-4 мм рт. ст. Для сокращения продолжительности откачки между вакуумной камерой и диффузионным насосом устанавливают ловушки, охлаждаемые с помощью двух- или трехступенчатых холодильных установок. Наличие ловушки сокращает время откачки установок, заполненных деталями из пластмасс, содержащих высокоплавкие эластомеры и воду.