На рис. 151 показана сверхвысоковакуумная установка для напыления с одинарными стенками. Сверхвысокий вакуум создается двумя последовательно включенными паромасляными диффузионными насосами, которые соединены с камерой напыления через один лабиринтный отражатель.  Установка прогревается надвигаемой печью. Диаметр камеры 350 мм, скорость откачки на входе в насос 100 л/с, предельное давление 3*10^-10 мм рт. ст.

Управление установкой полностью автоматизировано. Если применяют установку с двойными стенками, то того же значения предельного давления можно достичь с одним диффузионным насосом, но в пространстве между стенками должен быть создан вакуум 10^-5 — 10^-6 мм рт. ст. (рис. 152). Здесь применены охлаждаемые жидким воздухом ловушка и змеевик внутри откачиваемого объема.

Ловушка служит в основном для улавливания водяного пара. Внутренняя оболочка прогревается пропускаемым через нее током, поэтому прогрев здесь занимает меньше времени, чем в установке с одинарными стенками. Предельное давление в установке достигает 10^-10 мм рт. ст. Для достижения сверхвысокого вакуума требуется от 4 до 6 ч.