Цель работы. Освоить методику определения состава и парциальных давлений остаточных газов в условиях высокого вакуума с помощью динамического масс-спектрометра на примере омегатрона РМО-4С.

Аппаратура. В лабораторную установку входят следующие элементы. 1. Масляно-ротационный насос РВН-20. 2. Пароструйный диффузионный насос Н-1С. 3. Полупроводниковая ловушка ТВЛ-100. 4. Блок питания ловушки. 5. Манометры ЛМ-2 и ЛТ-2. 6. Вакуумметр ВИТ-1А. 7. Омегатронная лампа-преобразователь РМО-4С. 8. Измерительный блок ИПДО-1. 9. Постоянный магнит с юстировочной рамой и выносным каскадом. 10. Самопишущий потенциометр ЭПП-09. 11. Стеклянная ловушка с жидким азотом. 12. Защитный колпак из плексигласа.

Содержание работы.

1. Включить насос ВН-461, ловушку ТВЛ-100 и насос Н-5С.

2. Залить жидкий азот в стеклянную ловушку и откачать установку до давлений (3—6) *10^-6 Тор.

3. Проверить по инструкции исходное положение органов управления прибора ИПДО-1.

4. Включить питание прибора ИПДО-1 от сети и прогреть его в течение 30 мин.

5. Включить накал омегатрона и произвести юстировку магнита.

6. Установить частотный диапазон генератора ИПДО-1 и амплитуду напряжения по указанию преподавателя.

7, Отрегулировать усилитель ионного тока в соответствии с давлением в установке.

8. Произвести запись спектра масс остаточного газа на потенциометре, используя автоматическую развертку частоты генератора.

9. По указанию преподавателя исследовать пики отдельных массовых чисел, медленно меняя частоту генератора.

10. Произвести расшифровку спектра масс с помощью разделов: «Определение парциальных давлений», «Определение резонансных частот» описания прибора ИПДО-1

11. Определить шкалу усилителя постоянного тока и амплитуду напряжений высокой частоты, наиболее удобные для измерении.

Предупреждения. 1. Не включать омегатрон РМО-4С при давлении выше Ю-5 тор, так как из-за большого рассеяния ионов он не дает показаний. 2. Загрязнение омегатрона маслом ухудшает стабильность его работы, поэтому не допускается эксплуатация омегатрона с паромасляным насосом без азотной ловушки.

Расход времени. Норма времени на работу составляет 3 ч 30 мин со следующим распределением. 1. Включение насосов и откачка установки 1 ч. 2. Включение и выведение в режим прибора ИПДО-1, юстировка магнита 1 ч 30 мин. 3. Автоматическое и ручное измерение спектра масс 1 ч