На рис. 426 показан мембранный вентиль с металлическим уплотнением седло — клапан. Уплотнение мембраны по окружности ив центре достигается с помощью фланцев фигурного профиля. Мембрана разделяет внутреннюю полость вентиля на два объема: нижний — вакуумный и верхний — соединенный с атмосферой. Клапан вентиля перемещается при помощи штока с дифференциальной резьбой. В конструкции, показанной на рис. 426, мембрана и клапан легко могут быть заменены. Вентили с мембраной имеют ход около 2 мм (для проходов 6—10 мм). Малая величина открытия клапана является недостатком при работе с жидкостями, дающими осадки, так как вентили забиваются.

Вентили с электромоторным приводом. Сильфонные вентили ЭП-2 применяют там, где требуется дистанционное управление процессом откачки. Привод состоит из редуктора, уменьшающего частоту вращения, и электродвигателя. Редуктор включает червячную передачу, фрикционную муфту, маховик с ручным управлением и механизм автоматического выключения электродвигателя.

При отсутствии тока вентилями можно управлять вручную. Герметичное уплотнение обеспечивается при атмосферном давлении с любой стороны клапанной тарелки. Корпус изготовлен из стали 20, сильфон — из коррозионностойкой стали, уплотнители — резиновые. Вентиль показан на рис. 427. Технические характеристики вентилей с электромоторным приводом приведены в табл. 100. Вентили ЭП-2 предназначены для работы при давлениях от 760 до 5*10^-6 мм рт. ст. и при температуре окружающей среды от 5 до 40° С, причем среда не должна воздействовать на материал конструкции.