В целом о вакууме и вакуумных системах

Свойства вакуума
Особенности вакуумных систем

Вакуумные материалы и уплотнители

Вакуумные материалы
Уплотнители и и смазки

На заметку

Тепловые манометры
Измерение и контроль вакуума - Контрольно-измерительная аппаратура

В манометрах косвенного типа измеряемая величина, связанная с давлением газа, преобразуется в электрический сигнал, поэтому датчики этих манометров называют преобразователями.

В тепловых манометрах используется зависимость молекулярной теплопроводности газа от давления пара при высоком вакууме λ»d. Датчик любого теплового манометра представляет собой колбу с нитью, нагреваемой электрическим током. Если постоянна электрическая мощность Qэл, подведенная к нити, то температура нити зависит от давления. В стационарном состоянии при установившейся температуре нити имеет место баланс мощностей:

Qэл=  Qk +  Qм +  Qл

где Qэл — мощность теплоотвода по конструктивным элементам манометра; Qл, — мощность, отводимая лучеиспусканием; Qм—мощность, отводимая от нити соударяющимися с ней молекулами.

В уравнении (108) только Qм зависит от давления: поскольку с ростом Р коэффициент теплопроводности газа увеличивается также ведет себя и Qм. Следовательно, при Qэл = const равновесная температура нити возрастает при понижении давления (если λ»d). Поэтому в тепловом манометре необходимо измерить температуру нити и результаты измерений проградуировать в единицах давления.

Более подробно уравнение баланса мощностей в тепловом манометре имеет вид

Здесь I — ток, проходящий через нить; αR— температурный коэффициент сопротивления; Tн и Ti — температура нити и колбы; г, L — радиус и длина нити; а — коэффициент Стефана — Больцмана; σ — коэффициент теплопроводности по сечению нити.

Чувствительность теплового манометра зависит от рода газа, заполняющего колбу. Молекулярная теплопроводность газа определяется коэффициентом пропорциональности при Р:


где аа — коэффициент аккомодации по уравнению (18). Одинаковые показания теплового манометра по различным газам 1, 2, 3, ... соответствуют не одинаковым давлениям, а условию

Если прибор имеет градуировку по воздуху, а измеряется давление некоторого газа «г», то пересчет на давление Рт от показаний по воздуху Рв производится по формулам

 

В табл. 17 приведены значения пересчетного коэффициента для тепловых манометров.
 

 

По способу измерения температуры нити тепловые манометры делятся на два типа: манометры сопротивления и термопарные. В первых используется зависимость сопротивления нити от ее температуры; нить манометра выполняет две функции: источника тепла и измерителя температуры. Промышленность выпускает вакуумметр сопротивления ВСБ-1 (рис. 37). Применяемый в нем датчик МТ-6 представляет собой трубку диаметром 20 и длиной 175 мм. Нить имеет очень малый диаметр (окопо 18 мкм), благодаря чему верхний предел манометра по давлению составляет 30 тор.
 
Прибор работает в режиме постоянной температуры нити, мерой давления служит необходимый для этого ток нити. Имеется электронное реле, подающее сигнал и размыкающее блокировочные контакты при достижении заданного давления в диапазоне от 30 до 10-1 тор. Существуют также термисторные манометры сопротивления, обладающие высокой чувствительностью из за резкого убывания сопротивления с ростом температуры.

В диапазоне давлений от 1 до 10-3 тор наиболее широко применяются термопарные манометры, получившие массовое распространение. Для измерения температуры нити применяется термопара, напряжение UTTI которой зависит от разности температур ТУ—7"б. Нить здесь выполняет только функцию источника тепла. Термопарные лампы ЛТ-2 (стеклянная) и ЛТ-4 (металлическая) аналогичны по конструкции (рис. 38); они имеют тепловыделяющую нить из платины диаметром 0,1 мм и термопару типа хромель — копель. Лампы работают в режиме постоянного тока накала, который регулируется перестройкой балластного сопротивления.

При давлении ниже 10-3 тор показание термопарного манометра достигает асимптотического предела 10 мв (100 делений) и остается постоянным (рис. 39). При малых давлениях может быть достигнуто состояние Qm«Qт + Qк, когда молекулярный теплоотвод перестает играть роль из-за своей малости. Температура нити при этом постоянная, не зависит от давления и определяется только потерями тепла нитью через лучеиспускание Qл и теплопроводность по конструктивным элементам Qк.


Рис. 37. Вакууметр сопротивления блокировочный ВСБ-1 с датчиком-преобразователем МТ-6.

Для уменьшения нижнего предела термопарных манометров необходимо ослабить побочные процессы теп-лоотвода. Для уменьшения QK нить должна быть тонкой и иметь большое сопротивление тепловому потоку. Для уменьшения Qк нужно понизить среднюю температуру нити, так как по закону Стефана — Больцмана


Однако это уменьшает разницу температур нити и колбы Tн—Тк и приводит к потере чувствительности. Компромисс достигается при Tн=300— 400° С, при этом нижний предел термопарных манометров 10-3 тор, ток накала ламп ЛТ-2 и ЛТ-4 около 110—135 ма.

Верхний предел термопарных манометров определяется двумя явлениями: 1) при высоком давлении нарушается условие λ/d»1, и теплопроводность газа перестает зависеть от давления; 2) при высоком давлении интенсивный молекулярный теплоотвод сильно снижает температуру нити, уменьшает разность температур Та—Тк и приводит к потере чувствительности. При токе около 120 ма лампа ЛТ-2 имеет верхний предел по давлению примерно 10-1 тор. Для борьбы с потерей чувствительности при высоком давлении достаточно увеличить температуру нити, т. е. повысить ток накала. При токе 250—300 ма лампа ЛТ-2 может измерять давления в диапазоне от 1 до 10-1 тор.


 

 

 

 

 

Для этого диапазона точное значение тока накала подбирают при атмосферном давлении, когда лампа вскрыта, т. е. производится привязка градуировочной кривой к правому верхнему асимптотическому пределу манометра.

Ограничение верхнего предела тепловых манометров из-за требования X/d>>1 является принципиальным. В связи с этим необходимо более детально рассмотреть, какой размер лампы играет роль характерного параметра d. Казалось бы,под d следует понимать диаметр колбы D (рис. 40), однако в действительности важен диаметр нити dн. Если давление таково, что  dн/2<λ<D/2, то весь перепад температуры от Tн до Tк происходит на расстоянии порядка λ.

Выберем точку наблюдения М на расстоянии от нити, равном или немного большем λ. Из этой точки нить видна под малым телесным углом со, поэтому в эту точку приходят молекулы в основном с температурой, определяемой колбой. Роль «колбы» с температурой Tк играет слой газа, отстоящий от нити на расстоянии λ. Если же λ<dн/2, то температура в точкеМ в основном определяется нитью.

Современная технология волочения проволок позволяет изготовлять их диаметром до 1 мкм, однако условия крепления и прочности не позволяют использовать нити тоньше 10 мкм. Полагая λ = dн/2 = 5 мкм, по уравнению λ(см) =5/Р (тор) получаем верхний предел манометров с такой нитью 10 тор. Жертвуя точностью, можно измерять тепловыми манометрами давления до 30—50 тор.

Для работы с лампами ЛТ-2 и ЛТ-4 промышленность выпускает вакуумметры ВТ-2 и ВТ-3. Эти вакуумметры содержат выпрямитель для питания нити током до 150 и до 300 ма на двух пределах измерений и прибор для измерений напряжения термопары в единицах давления. Диапазоны измерений составляют 10-3— 10-1 и 10-1 — 1 тор.

 

Добавить комментарий


Защитный код
Обновить

Сейчас на сайте

Сейчас на сайте находятся:
 315 гостей на сайте
=
Рейтинг@Mail.ru