В целом о вакууме и вакуумных системах

Свойства вакуума
Особенности вакуумных систем

Вакуумные материалы и уплотнители

Вакуумные материалы
Уплотнители и и смазки

На заметку

Общие методы конструирования вакуумных систем
Общие методы конструирования вакуумных систем - Вакуумные системы на основе турбомолекулярных насосов
В целом о вакууме и вакуумных системах - Особенности вакуумных систем
Оглавление
Общие методы конструирования вакуумных систем
Вакуумные системы на основе диффузионного и ротационного насосов
Вакуумные системы на основе турбомолекулярных насосов
Вакуумные системы на основе ионных насосов
Вакуумные системы на основе крионасосов
Автоматизированные системы управления вакуумными установками
Все страницы

Такие вакуумные системы во многих отношениях аналогичны системам, в которых откачка осуществляется с помощью диффузионного и ротационного насосов. Существуют компактные вертикальные турбомолекулярные насосы, которые обладают аналогичными диффузионному насосу характеристиками и могут быть использованы вместо диффузионных насосов. Турбомолекулярный насос, как правило, откачивается ротационным насосом, так что вакуумная система в этом случае аналогична системе, представленной на рис.7.3.

Главным отличием системы с турбомолекулярный насосом является отсутствие маслоотражателя и ловушки, что объясняется очень высокой степенью сжатия в турбомолекулярном насосе по отношению к тяжелым молекулам и, следовательно, отсутствием их обратного потока в систему. Однако, как отмечалось ранее, в большинстве конструкций турбомолекулярных насосов используются смазываемые потоком масла подшипники, которые находятся в зоне высокого вакуума, и при остановке насоса независимо от причин, вызывающих эту остановку, пары масла из подшипников будут попадать в вакуумную систему.

Поэтому на случай аварийного прекращения подачи энергии должна быть предусмотрена защита турбомолекулярного насоса путем быстрого перекрывания электромагнитного затвора V1 и напуска в насос атмосферного воздуха. Поскольку при быст ром напуске атмосферного воздуха поток газа может вынести вместе с собой масло из подшипников, не рекомендуется устанавливать напускной клапан со стороны форвакуума. Для решения этой проблемы в некоторых конструкциях напускной клапан устанавливают между ступенями насоса, что обеспечивает равномерное распределение газового потока между всасывающей и нагнетающей полостями.

Основным недостатком турбомолекулярного насоса является относительно низкая степень сжатия по водороду, что приводит к относительно высокому парциальному содержанию водорода в остаточном газе. Парциальное давление водорода может быть снижено, во-первых, уменьшением содержания водорода в фор-вакуумной линии и, во-вторых, использованием дополнительных высоковакуумных откачивающих устройств.

Низкое давление водорода в форвакуумной линии может быть достигнуто, в основном, путем использования правильно выбранного ротационного насоса, а также соответствующего масла. Турбомолекулярный насос можно откачивать также диффузионным насосом, который в свою очередь откачивается ротационным. Но наилучшим, по-видимому, решением этой проблемы является использование турбомолекулярного насоса совместно с титановым сублимационным насосом, устанавливаемым на входе турбомолекулярного насоса.

Сублимационный насос характеризуется высокой скоростью откачивания активных газов, особенно водорода, и не требует непрерывной работы.Большинство конструкций турбомолекулярных насосов позволяет проводить их прогрев приблизительно до 100 0C, что делается с помощью ленточных нагревательных элементов или встроенного в корпус специального нагревателя (см. рис. 3.7). Методика проведения откачки и прогрева вакуумной системы в основном такая же, как и в случае системы, откачиваемой диффузионным насосом.



 

Добавить комментарий


Защитный код
Обновить

   

 

Сейчас на сайте

Сейчас на сайте находятся:
 121 гостей на сайте

Нов боков адс адаптивный

=
Рейтинг@Mail.ru