Любая вакуумная система представляет собой конструкцию, состоящую из различного типа клапанов, вентилей, разъемных и неразъемных соединений, электрических и механических вводов и т. п. Большинство фирм, специализирующихся по выпуску вакуумного оборудования, изготовляет такую арматуру различного типоразмера, из которой вместе с вакуумными насосами и вакуумметрами можно собрать вакуумную систему, обладающую требуемыми характеристиками.

Арматура, предназначенная для работы в условиях сверхвысокого вакуума, должна изготовляться из материалов, удовлетворяющих жестким требованиям, которые обсуждались ранее. Поскольку основным требованием является минимальное газовыделение в систему, элементы вакуумных систем должны выдерживать нагрев по крайней мере до 250 °С, обладать низкой скоростью газовыделения и ничтожной газопроницаемостью, особенно если они находятся в вакуумной части системы. Ввиду этого в высоковакуумных системах исключается применение синтетических материалов, таких, как различного рода эластомеры, эпоксидные смолы и пластики, которые широко используются в вакуумных системах при давлениях выше 10^-5 Па.

Например, эластомеры, вследствие их высокой упругости, особенно удобны в качестве уплотнителей в разъемных соединениях и клапанах многоразового действия. Более жесткие материалы, такие, как ПТФЭ, обладают свойствами, позволяющими использовать их в качестве изолирующих втулок и посадочных поверхностей.

Хотя и существуют синтетические материалы, выдерживающие нагрев выше 200 °С, ни один из них, строго говоря, по механическим свойствам не удовлетворяет полностью всем требованиям, предъявляемым к высоковакуумным материалам. Специалисты по вакуумной технике использовали весь арсенал технических средств, чтобы получить адекватные по своим вакуумным качествам элементы сверхвысоковакуумных систем.

С 1950-х гг. и до последнего времени вопросам разработки и совершенствования таких элементов уделяется значительное внимание. Хотя их производство оказывается более сложным и дорогим по сравнению с аналогичными устройствами, рассчитанными на применение в условиях более низкого вакуума, налажен серийный выпуск сверхвысоковакуумного оборудования любых типов.