Свойства вакуума |
Особенности вакуумных систем |
контрольно-измерительная аппаратура |
Течеискатели |
Вакуумные материалы |
Уплотнители и и смазки |
Вакуумные вентили и переходники |
Запорные устройства |
Способы соединения вакуумных систем |
Общие принципы |
Подбор вакуумных насосов |
Масляные средства откачки |
Вакуумометрические приборы |
Вакуумные установки |
Сорбционные средства откачки |
Физические явления в вакууме |
Магниторазрядные насосы |
Разное - Применение вакуумной техники | ||||||
Cтраница 4 из 4
Опыт эксплуатации магниторазрядных насосов убеждает в практически неограниченном их ресурсе. Предельное остаточное давление, наибольшее рабочее давление и давление запуска магниторазрядных насосов на протяжении всего периода эксплуатации находятся в пределах требований технических условий. К тому же после очередной чистки насоса они приближаются к своему первоначальному значению. Быстрота действия неохлаж-даемых насосов с плоскими сплошными катодами остается постоянной вплоть до момента образования сквозных отверстий в катодных пластинках по центру разрядных ячеек. Быстрота действия охлаждаемых диодных насосов, в катодных пластинах которых выполнены сквозные отверстия, по мере увеличения отверстий в результате распыления титана постепенно снижается.
Распыление титана по поверхности катода не равномерно (рис. 4-26), что обусловлено неравномерностью магнитного поля. Диаметр отверстий в центре пластины после наработки (2500 ч при давлении 4,0-10~2 Па (3•1O-4 мм рт. ст.) увеличивается в 1,5—2 раза, в то время как крайние отверстия почти не увеличиваются, причем
Рис 4 26 Катод насоса НОРД 250 после наработки 2500 ч при давлении 4,0 10-2 Па
отверстия растут пропорционально плотности тока в конкретном насосе Так, удельная плотность тока и удельная быстрота откачки (быстрота откачки в расчете на одну разрядную ячейку) насоса НОРД-10 выше, чем у насоса НОРД-250 Соответственно ресурс, определяемый как время снижения быстроты действия на 10% номинального значения, насосов НОРД-10 меньше, чем насосов НОРД-250 В триодных насосах происходит разрушение катодов, как это показано на рис 4-27, и соответственно уменьшается быстрота действия насоса Наблюдаемое в процессе эксплуатации, в том числе в конце срока службы, увеличение быстроты действия магниторазрядных насосов после «аргонной обработки» носит временный характер По прошествии нескольких часов быстрота действия снижается до первоначального значения Под «аргонной обработкой» подразумевается длительная, в течение нескольких часов, работа насоса в среде аргона при повышенном давлении, Ю-3 Па (Ю-5 мм рт ст ) В силу повышенного распыления титана тяжелыми ионами аргона катодные пластины очищаются, при этом насос нагревается, а большое количество распыляемого титана поглощает загрязняющие систему газы В дальнейшем чистый насос некоторое время имеет повышенную быстроту действия. На практике «аргонная обработка» используется для очистки загрязненных, например углеводородами, насосов, когда нет возможности произвести их прогрев с помощью внешних нагревателей
Ресурс магниторазрядных насосов при рабочем давлении 1О-4 Па оценивается следующими величинами неохлаждаемые диодные насосы—более 150 000 ч, НОРД-250 — более 100 000 ч, НОРД-10 —более 65 000 ч, ТРИОН-150 —более 70 000 ч.
|
= | |