В целом о вакууме и вакуумных системах

Свойства вакуума
Особенности вакуумных систем

Вакуумные материалы и уплотнители

Вакуумные материалы
Уплотнители и и смазки

На заметку

Магниторазрядные насосы
Разное - Применение вакуумной техники
Оглавление
Магниторазрядные насосы
Страница 2
Страница 3
Страница 4
Все страницы

 

Опыт эксплуатации магниторазрядных насосов убеж­дает в практически неограниченном их ресурсе. Предель­ное остаточное давление, наибольшее рабочее давление и давление запуска магниторазрядных насосов на про­тяжении всего периода эксплуатации находятся в пре­делах требований технических условий. К тому же после очередной чистки насоса они приближаются к своему первоначальному значению. Быстрота действия неохлаж-даемых насосов с плоскими сплошными катодами оста­ется постоянной вплоть до момента образования сквоз­ных отверстий в катодных пластинках по центру разряд­ных ячеек. Быстрота действия охлаждаемых диодных насосов, в катодных пластинах которых выполнены сквозные отверстия, по мере увеличения отверстий в ре­зультате распыления титана постепенно снижается.

 

Рас­пыление титана по поверхности катода не равномерно (рис. 4-26), что обусловлено неравномерностью магнит­ного поля. Диаметр отверстий в центре пластины после наработки (2500 ч при давлении 4,0-10~2 Па (3•1O-4 мм рт. ст.) увеличивается в 1,5—2 раза, в то время как крайние отверстия почти не увеличиваются, причем

 

 

 


Рис 4 26 Катод насоса НОРД 250 после наработки 2500 ч при давлении 4,0 10-2 Па

 


отверстия растут пропорционально плотности тока в кон­кретном насосе Так, удельная плотность тока и удель­ная быстрота откачки (быстрота откачки в расчете на одну разрядную ячейку) насоса НОРД-10 выше, чем у насоса НОРД-250 Соответственно ресурс, определяе­мый как время снижения быстроты действия на 10% номинального значения, насосов НОРД-10 меньше, чем насосов НОРД-250 В триодных насосах происходит разрушение катодов, как это показано на рис 4-27, и соответственно уменьшается быстрота действия насоса Наблюдаемое в процессе эксплуатации, в том числе в конце срока службы, увеличение быстроты действия магниторазрядных насосов после «аргонной обработки» носит временный характер По прошествии нескольких часов быстрота действия снижается до первоначального значения Под «аргонной обработкой» подразумевается длительная, в течение нескольких часов, работа насоса в среде аргона при повышенном давлении, Ю-3 Па (Ю-5 мм рт ст ) В силу повышенного распыления ти­тана тяжелыми ионами аргона катодные пластины очи­щаются, при этом насос нагревается, а большое количе­ство распыляемого титана поглощает загрязняющие си­стему газы В дальнейшем чистый насос некоторое вре­мя имеет повышенную быстроту действия. На практике «аргонная обработка» используется для очистки загряз­ненных, например углеводородами, насосов, когда нет возможности произвести их прогрев с помощью внешних нагревателей

 

Ресурс магниторазрядных насосов при рабочем дав­лении 1О-4 Па оценивается сле­дующими величинами неохлаждаемые диодные насо­сы—более 150 000 ч, НОРД-250 — более 100 000 ч, НОРД-10 —более 65 000 ч, ТРИОН-150 —более 70 000 ч.

 


 



 

Добавить комментарий


Защитный код
Обновить

   

 

Сейчас на сайте

Сейчас на сайте находятся:
 163 гостей на сайте

Нов боков адс адаптивный

=
Рейтинг@Mail.ru