Механические вакуумные вводы линейного и вращательного движения на основе системы сильфонов, как простые, так и прецизионные с микрометрическим перемещением, выпускаются большинством фирм, специализирующихся на изготовлении вакуумного оборудования. Такие устройства монтируются, как правило, на фланцах. На рис. 6.8 показан один из выпускаемых серийно прецизионных манипуляторов.

Рис.6.8. Прецизионный сверхвысоковакуумный манипулятор.

Использование сильфонов для передачи больших перемещений или вращений с более высокими скоростями приводит к менее удовлетворительным результатам. Одним из принципов передачи такого движения через сплошную стенку вакуумной камеры является принцип магнитного или электромагнитного по-токосцепления. Например, статор электродвигателя может быть расположен вне вакуумной системы, а вращающийся ротор — внутри системы. Поскольку ротор не должен являться дополнительным источником газа в системе, он должен иметь минимальные размеры и выдерживать нагрев, требуемый для обезгаживания. Поэтому ротор с обмотками, если только он не помещен в герметичную оболочку, нельзя устанавливать в вакуумной камере. С этой целью применяют специальные вакуумные электродвигатели, в которых ротор не имеет обмоток, например короткозамкнутый асинхронный двигатель или компактный синхронный двигатель с магнитным ротором, возбуждаемый постоянным током.

Основная проблема таких устройств состоит в том, что в воздушном зазоре между ротором и статором должна быть размещена герметичная оболочка, что приводит к уменьшению крутящего момента и КПД. Электродвигатели этого типа применяются в тех случаях, когда нужна высокая скорость вращения при сравнительно небольшом крутящем моменте. Альтернативным методом является создание вращающегося магнитного поля путем вращения постоянного магнита, расположенного вне вакуума.

Такой тип передачи механического движения допускает больший воздушный зазор между магнитными приводом и ротором и, следовательно, более толстую оболочку вакуумной камеры. Подобные устройства применялись еще в 1960-х гг. Позже был предложен привод для механического бустерного насоса, состоящий из трех вращающихся магнитов.

Описанным методом можно осуществлять и линейное перемещение компонентов системы, расположенных в вакуумной камере. Для этого внешний магнит должен либо перемещаться параллельно внутреннему компоненту на необходимое расстояние, либо вращаться, осуществляя поступательную подачу ходового винта. Единственное требование, предъявляемое к устройствам подобного типа, заключается в том, чтобы материал вакуумной оболочки не оказывал влияния на магнитное поле.