Более серьезную проблему создает давление насыщенных паров рабочей жидкости. Хотя существуют такие рабочие жидкости, как силиконовое масло (силикон-705) или полифениловый эфир (конвалекс-10), давление паров которых составляет около 10~8 Па при комнатной температуре, рабочие жидкости могут разлагаться на компоненты, либо обладающие высоким давлением паров, либо не конденсирующиеся и вследствие этого попадающие в вакуумную систему.

Рассматривая эту проблему, следует различать два эффекта: первый представляет собой обратный поток пара, т. е. перенос молекул пара в противоположном от сопел направлении, сопровождающийся их ускорением при прохождении через впускное отверстие насоса; второй — обратный перенос рабочей жидкости, т. е. повторное испарение рабочей жидкости, которая сконденсировалась вблизи впускного отверстия насоса.

Обратный поток может существенно снижать эффективную быстроту откачки, особенно в случае масляных диффузионных насосов, для которых давление в вакуумной системе может значительно возрастать за счет насыщенных паров масла при температуре стенок насоса.

Кроме того, этот эффект может приводить к значительным потерям рабочей жидкости в насосе. Обратный поток может быть уменьшен на несколько порядков величины использованием отражателя соответствующей конструкции, расположенного во впускном отверстии насоса, на котором рабочая жидкость конденсируется и возвращается в насос. Так, путем установки медного диска над верхним соплом насоса удалось уменьшить потери масла в ~3000 раз. Поскольку обратный поток возникает главным образом у верхнего сопла, «холодный колпак», укрепленный над соплом, устанавливается на большинстве выпускаемых промышленностью насосов.

Однако наиболее эффективен так называемый «шевронный отражатель» (рис. 3.2), который состоит из набора узких металлических пластинок, имеющих V-образный профиль. Эти пластинки устанавливаются параллельно друг другу таким образом, что полностью перекрывают впускное отверстие насоса (см. рис. 3.2). Проходящие через впускное отверстие молекулы должны удариться о поверхность отражателя по крайней мере один раз, вне зависимости от первоначального направления их движения. Чем больше перекрывается отражателем впускное отверстие насоса, тем сильнее уменьшается обратный поток, но, к сожалению, одновременно снижается и эффективная быстрота откачки. Так, использование шевронного отражателя уменьшает быстроту откачки на ~50%.