В книге рассматриваются вопросы конструирования насосов, вакуумных установок и их деталей, методы и аппаратура для определения газосодержания материалов, результаты физических исследований ионно-сорбционных процессов и процессов распыления материалов в вакууме ионами различных энергий, методы и аппаратура для получения тонких пленок, вопросы вакуумной метрики.

Сборник предназначен для инженерно-технических и научных работников, занимающихся разработкой и изготовлением вакуумного оборудования и электро-вакуумных приборов, а также исследованиями в этих областях науки и техники. Сборник полезен также специалистам, которые в своей работе соприкасаются с использованием вакуумного оборудования.