Галогенный течеискатель представляет собой устройство, датчик которого специально сконструирован для обнаружения течей в системах. Хотя он и не настолько чувствителен, как ионизационный вакуумметр, его пороговая чувствительность в оптимальном режиме работы составляет около 10^-9 Па*м³*с^-1. Этот метод обнаружения течей довольно практичен и особенно эффективен в отношении систем, работающих вблизи верхней границы области сверхвысокого вакуума (~10^-6 Па).

(8.25)

где р- — константа, зависящая от рода газа и металла, Ф — работа выхода электрона из металла, е — заряд электрона, Vi — потенциал ионизации молекул газа.

В галогенном течеискателе измеряется ионный ток, возникающий между катодом и накаленным платиновым электродом при ионизации в детекторе галогенсодержащих соединений, например фреона-12 (CCl₂F₂). Потенциалы ионизации этих соединений составляют около 9—10 В, в отличие от 15 В для азота.

Поскольку работа выхода электрона для платины составляет около 5,4 эВ, при замещении азота фреоном величина экспоненциального члена (8.25) резко изменяется. С повышением температуры платинового анода ионный ток возрастает, но, поскольку при этом фоновый ионный ток увеличивается пропорционально току полезного сигнала, существует оптимальная (для максимального отношения сигнал/шум) температура нагрева анода, составляющая около 800 ⁰C

Выпускаемый серийно галогенный течеискатель вакуумного типа представляет собой металлический корпус, в котором смонтированы коаксиально цилиндрический подогреваемый платиновый анод и кольцевой катод под отрицательным потенциалом для собирания ионов. Корпус устройства снабжен соответствующими разъемами, с помощью которых он может подсоединяться к вакуумной системе.

Течь в системе обнаруживается методом обдува конструкции струей фреона и прокачиванием пробного газа через течеискатель с помощью насосов самой вакуумной системы. Кроме того, выпускаются галогенные течеискатели, способные работать при атмосферном давлении. В этом случае в течеискателе установлен вентилятор для засасывания воздуха через пробное сопло; вакуумная система, предварительно заполненная смесью воздуха с фреоном при давлении, превышающем атмосферное, подвергается зондированию с внешней стороны. Этот прибор обычно применяется для проверки на герметичность отдельных узлов системы до их сборки.