Градуировка манометров производится сравнением их показаний с заведомо точно известным давлением. Это давление создается достоверным образом или измеряется эталонным манометром, градуировка которого точно определяется расчетно, независимо от каких-либо сравнительных измерений давления; их называют образцовыми манометрами первого разряда, погрешность их градуировки не более 1—5%. Для градуировки манометров применяют также образцовые манометры второго и третьего разрядов. Их погрешность порядка 10—15%. Образцовыми манометрами в диапазоне от 760 до 10 тор служат обычно U-образные жидкостные манометры; до 10^-5 тор — компрессионные манометры. Ниже 10^-5 тор применяется линейная экстраполяция ионизационных манометров.

Для примера рассмотрим градуировку манометров по газовым потокам. Идея метода показана на рис. 57. Насос с быстротой откачки S отделен от объема с эталонным давлением малой диафрагмой с пропускной способностью F<<S. Если в объем впускается известный поток газа Q, то в нем устанавливается давление Р = Q/F. Если, например, 5=100 л/сек, F=1 л/сек, то для создания давлений 10^-5—10^-6 тор необходимо регулировать и измерять малые потоки порядка Q = 10^-2-10^-3 мтор*л/сек. Потокомером служит второе малое калиброванное отверстие с пропускной способностью F₁, перед которым напуском воздуха создается сравнительно высокое давление Р₁, измеряемое компрессионным манометром в условиях работы без погрешности (давление тор, отсутствуют холодные ловушки).

Рис. 57. Установка для градуировки манометров по газовым потокам:1 — баллон с газом, 2 — натекатель; 3 — диффузионные насосы; 4— калиброванное отверстие, 5 — рассеиватель; 6 — перегородка с отверстием, 7 —ловушка, 8 — сорбционный насос; 9 — градуируемый манометр- 10 — компрессионный манометр

(124)

Для получения F=10^-3 л/сек подходит диафрагма диаметром 0,1 мм. При градуировке измерителей парциальных давлений приходится прибегать к известным способам понижения давления, подобным описанным выше, поскольку измерить парциальное давление выше 10^-3 тор невозможно. Градуировка производится по каждому газу, входящему в анализируемую смесь. Для градуировки масс-спектрометрических измерителей парциальныл давлений применяют стандартные многокомпонентные смеси газов с известным составом.

Особые методы применяются для измерения давления паров. Жидкость помешается в шарик В, который поддерживается при требуемой температуре (рис. 58). Пары, входящие в отверстие О, давят на диск D, подвешенный на тонкой нити. Давление пара определяется углом 9, на который нужно повернуть весь прибор, чтобы отверстие закрылось диском:

(125).

Здесь W—вес диска, Г; А — площадь отверстия, см². Для уменьшения давления пара на диск с внешней стороны применяется ловушка с жидким азотом. Проведя измерения при различных температурах, можно получить зависимость упругости пара от температуры, описываемую уравнением Клапейрона.