Хотя эксплуатационные характеристики такого устройства могут быть и не лучше характеристик обычного масс-спектрометрического течеискателя, простота конструкции, отсутствие ловушек с жидким азотом, а также меньшая зависимость от скорости откачки явились причинами их серийного выпуска, например, фирмой Varian.

Следует отметить, что в высоковакуумных системах, вне зависимости от используемого метода обнаружения течей, присутствие масел даже в небольших количествах недопустимо. Поэтому оператор должен быть уверен в том, что масло из ротационного насоса вакуумной системы течеискателя не проникает в проверяемую систему. Если в течеискателе не предусмотрена охлаждаемая жидким азотом цеолитовая ловушка для форвакуумного насоса, то целесообразно поместить такую ловушку между течеискателем и системой.

Чувствительность масс-спектрометрических течеискателей до некоторой степени зависит от быстроты откачки, а также от конструкции анализатора и электронных схем измерения. В следующем разделе будут обсуждаться общепринятые методы определения характеристик масс-спектрометрических течеискателей с помощью образцовых течей. Фирмы, выпускающие вакуумное оборудование, обычно приводят рабочие характеристики течеискателей, измеренных этим методом.

Пороговая чувствительность определяется как поток натекающего газа, вызывающий отклонение стрелки регистрирующего прибора, соответствующее 2% наиболее чувствительного диапазона измерений. Приводимые значения пороговой чувствительности по воздуху для серийных приборов обычно составляют около 5*10^-12 Па*м³*с^-1 при быстроте откачки 10^-2 м³*с^-1. Уменьшая с помощью дросселя эффективную быстроту откачки, можно снизить пороговую чувствительность до 5•1O^-13 Па*м³*с^-1. На рис. 8.5 показан общий вид изготавливаемого серийно масс-спектрометрического течеискателя.

Рис.8.5. Течеискатель на основе масс-спектрометра и турбомолекулярного насоса: 1 — масс-спектрометрический анализатор; 2 — клапаны; 3— вакуумметр Пирани; 4 — форвакуумный ротационный масляный насос; 5 — турбомолекулярный насос; 6 — вход для подключения объекта, проверяемого на герметичность.

В случае крупных вакуумных систем методы обнаружения течей с помощью чехлов с гелием или путем обдува элементов системы тонкой струей гелия нерациональны. Предложен другой метод решения этой проблемы на основе масс-спектромет-рического измерения величины отношения N2/02. При наличии течи это отношение должно быть таким же, как и для окружающего систему воздуха, тогда как десорбированные газы должны давать существенно отличающееся значение этого отношения.

Поскольку крупные вакуумные системы содержат значительное число клапанов и насосов, в таком случае путем последовательного секционирования системы можно достаточно быстро определить участок с течью, точное нахождение которой можно затем установить методом обдува.