|
Измерение и контроль вакуума -
Контрольно-измерительная аппаратура
|
|
Установившийся разрядный ток в ионном насосе пропорционален давлению, но поскольку это ионизационный ток, его величина зависит также от состава откачиваемого газа. Поэтому изменение состава газа при просачивании пробного газа сквозь канал течи будет приводить к изменению разрядного тока, так что, как и в случае ионизационного вакуумметра, ионный насос может быть использован в качестве течеискателя.
При этом наряду с током происходит изменение напряжения питания ионного насоса, и при использовании такого насоса в качестве течеискателя необходим стабилизированный по напряжению источник питания. В таком случае вместо серийного блока питания годится стабилизированный по напряжению блок питания с встроенным амперметром, но лучше использовать специальный блок стабилизации напряжения питания с встроенным индикатором изменения тока в цепи, который может быть подсоединен к серийному блоку питания, когда требуется проверка системы на течь. Простейшая блок-схема такого устройства приведена на рис. Ввиду того что
ионный насос и источник питания заземлены раздельно, ток должен измеряться в цепи высокого напряжения. Однако из соображений безопасности индикатор изменения тока следует включать в цепь низкого напряжения (близкого к потенциалу земли). Для преодоления этого противоречия можно воспользоваться методом оптической связи между фотоэммиттером в цепи высокого напряжения и фотодетектором в измерительной цепи, например с помощью оптрона.
Изменение состава газа приводит не только к изменению тока за счет различных коэффициентов ионизации, но также к изменению скорости откачки ионного насоса, что в свою очередь вызывает изменение давления в самом насосе. В результате будет происходить еще большее изменение тока. Аргон в качестве пробного газа вызывает увеличение тока, кислород — его уменьшение. Этот эффект подобен тому, который обсуждался в предыдущем разделе при рассмотрении в качестве течеискателя ионизационного вакуумметра совместно с ионным насосом. |