Свойства вакуума |
Особенности вакуумных систем |
контрольно-измерительная аппаратура |
Течеискатели |
Вакуумные материалы |
Уплотнители и и смазки |
Вакуумные вентили и переходники |
Запорные устройства |
Способы соединения вакуумных систем |
Общие принципы |
Подбор вакуумных насосов |
Масляные средства откачки |
Вакуумометрические приборы |
Вакуумные установки |
Сорбционные средства откачки |
Физические явления в вакууме |
Радиоизотопные ионизационные манометры |
Измерение и контроль вакуума - Контрольно-измерительная аппаратура |
Существуют ионизационные манометры, в которых для ионизации газов используется поток частиц от источника радиоактивного излучения. Скорость образования положительных ионов в каком-либо газе при прохождении частиц прямо пропорциональна давлению газа или, более точно, молекулярной концентрации. Уже сравнительно слабый радиоактивный источник (т. е. такой, с которым еще можно работать без толстого защитного экрана) позволяет получать в диапазоне давлений 10-3—102 тор вполне измеримую концентрацию ионов, достаточную для измерений давления газа. На фиг. 72 показан первый манометр, изготовленный Дау-нингом и Мелленом [108]. Он состоит из радиоактивного источника а в виде золоторадиевого сплава, содержащего приблизительно 0,2 мг радия, коллектора ионов б, ионизационной камеры (анода) в, корпуса г, изолятора д- из глазурованного фарфора, через который проходит электрический ввод коллектора, и ввода е со стеклянным изолятором. Анод поддерживается под положительным потенциалом, что обеспечивает поступление положительных ионов на коллектор. ![]()
Сравнительно низкая чувствительность таких манометров не позволяет измерять такие же низкие давления, как ионизационными манометрами с накаленным катодом. Нижний предел измерений таких манометров, по-видимому, равен по порядку величины 10-5 тор. Бейнон и Николсои [ПО] описали манометр с радиевым источником 0,5 мкюри, диапазон измерений которого простирался от 10 до 10-5 тор, а чувствительность была 10-9 а/тор. Этот манометр предназначался для работы по определению скрытой теплоты испарения и его можно было прогревать до температуры 200° С. Другой интересный манометр, весьма отличный по конструкции, описал Виткус [111]. Этот прибор миниатюрен и рассчитан на работу в аэродинамической трубе. Чувствительность этого манометра была равна 10-10 а/тор, рабочий диапазон простирался от 0,1 до 30 гор, а точность измерений составляла ±5% в начале шкалы и ±2% У ее конца. Рериг и Вандершмидт [112], следуя работе Вакка [113], заменили источник сс-частиц источником р-частиц. Радиоактивным веществом служил тритий, сорбированный титановой пленкой, которая была нанесена на подложку из нержавеющей стали. Период полураспада трития равен почти 13 лет, продукт его распада—-стабильный изотоп Не3, максимальная энергия р-частиц — 18 кэв, средняя — 5 кэв. Поскольку энергия испускаемых
частиц мала, обращение с манометром вполне безопасно, так как стенки камеры обеспечивают достаточную защиту. Таким
образом, переход от а-источника к р-источнику дает более интенсивное излучение без нарушения безопасности эксплуатации,
но при этом, конечно, необходимо соблюдать все меры предосторожности, обычные при работах с радиоактивными веществами, чтобы не нанести ущерб здоровью. В манометрах, описанных Реригом и Вандершмидтом, удельная активность источника
была равна 0,1 кюри/м2. Манометры имели две камеры: большую с высокой чувствительностью для измерения низких давлений и камеру меньших размеров для работы при высоких давлениях. Большая камера имела форму цилиндра длиной 89 и
диаметром 64 мм (как и в работе Вакка), источник в виде
квадрата 25X25 мм2 располагался на одном из торцов цилиндра. Эта камера обеспечивала довольно высокую чувствительность (10-8 а/тор). Диапазон измерений этого манометра лежал в пределах от 1,0 до 10-5 тор, причем вблизи нижнего предела становится заметным влияние фонового тока, обусловленного рентгеновским излучением и эквивалентного давлению
3*10-5 тор
(рентгеновское излучение возникает в результате
соударений
р-частиц со стенками камеры). Камера для измерения высоких давлений представляет собой открытый с торцов
цилиндр с внутренним диаметром 6,4 мм. Полоска из титановой фольги шириной 6,4 мм плотно прилегает к внутренней стенке. Коллектором служит проволока, расположенная по оси цилиндра. Диапазон измеряемых давлений этого манометра простирается от 0,1 тор до атмосферного давления. Верхний предел линейности градуировочной характеристики определяется поглощением р-частиц газом. Надо считать, что сохранение линейности вплоть до атмосферного давления не осуществимо даже в случае малой камеры. Эти манометры выпускаются сейчас фирмой «Нейшнл ризерч корпорейшн».
ЛИТЕРАТУРА 1. Smith Р. Т., Phys. Rev., 36, 1293 (1930); 37, 808 (1931). 2. T a t е J. Т., S m i t h Р. Т., Phys. Rev., ЗЭ, 270 (1932), 3. Buck ley О. E., Proc. Nat. Acad. ScL (USA), 2, 683 (1916). 4. Misamichi So., Proc. Phys. Math. Soc. (Japan), 1, 76 (1919). 5. Du s hm an S., Found C G., Phys. Rev., 17, 7 (1921). 6. S arbey M. D., E lectronics, 2, 594 (1931). 7. D u sh man S., Young A. H., Phys. Rev., 68, 278 (1945). ' 8. Reyn ol d s N. B., Physics, 1, 182 (1931). 9. L angmuir I., Jones H. A., Phys. Rev., 31, 357 (1928).
10. R i d d i f о r d L., J. ScL Instr., 28, 375 (1951). 11. Met son G. H., Brit. J. Appl. Phys., 2, 46 (1951). 12. M о p г у л и с H., Physik Z. Sowjetunion, 5, 407 (1934). 13. Jonker G. L. H., Tel lege n B. D. H., Philips Res. Rep., 1, 13 (1945— 1946). 14. Compton К. T., Van Voorhis C. C., Phys. Rev., 26, 436 (1925). 15. Tank F., Lange H., Z. Hochfrequenztechn., 31, 105, 133, 191 (1928). 16. Abraham M.. Z. tech. Phys., 6, 437 (1925). 17. Bleakney W., Phys. Rev., 34, 157 (1929); 35, 139, 1180 (1930); 36, 1303 (1930). 18. Morse R. S., Bowie R. M., Rev. ScL Instr., 11, 91 (1940). 19. Copley M. J., Phipps T. E., Glasser J., Rev. ScL Instr., 6, 371 (1935). 20. H u n t о n R. D., E 11 e 11 A., Phys. Rev., 49, 381 (1936). 21. J aye ox E. K., We in hart H. W., Rev. ScL Instr., 2. 401 (1931). 22. Burrow J. H., Mitchell E. W. J., J. ScL Instr., 29, 27 (1952). 23. R a m e у R. L., Vacuum Symposium Trans., Am. Vacuum Soc, Pergamon, N. Y., 1959, p. 85. . 24. A'pker L., Industr. Engng. Chem., 40, 846 (1948). 25. A n d e r s о n P. A., Phys. Rev., 47, 958 (1935). 26. No tting ha m W. B., /. Appl. Phys., 8, 762 (1937). . 4 27. Lander J. J., Rev. ScL Instr., 21, 672 (1950). 28. В а у a r d R. T., A 1 p e r t D., Rev. ScL Instr., 21, 571 (1950). 29. A 1 p e r t D., J. Appl. Phys., 24, 860 (1953). ^ 30. Bloomer R. N., Haine M. E., Vacuum, 3, 128 (1953). 31. Nottingham W. B., Vacuum Symposium Trans. Am. Vacuum Soc, 494 (1961). 32. С а г t e г G., L e с k J. H., Brit, J. Appl. Phys., 10, 364 (1959). 33. V a n Oostrom A., Vacuum Symposium Trans. Am. Vacuum Soc, 1, 443 (1961). 34. Al pert D., Handbuch der Physik, 12, Berlin, Springer, 1958. 35. Klopfer A., Vacuum Symposium Trans. Am. Vacuum Soc, 1, 439 (1961). < 36. Riemersma H., Fox R. E., L a n g e W. J., Vacuum Symposium Trans. Am. Vacuum Soc, Pergamon, N. Y., 1960; есть в переводе: P и м e p c-м а Г., Фокс Р., Ланге В., Современная вакуумная техника, ИЛ, 1963, стр. 145. 37. Alexeef I., Vacuum Symposium Trans. Am. Vacuum Soc, 1, 472 (1961). 38. Nottingham W. B., Torney F. L., Vacuum Symposium Trans. Am. Vacuum Soc.y Pergamon, N. Y., 1960; есть в переводе: H о т т и н г е м У., Тор н ей Ф., Современная вакуумная техника, ИЛ, 1963, стр. 177. 39. S с h u 1 z G. J. /. Appl. Phys., 28, 1149 (1957). 40. Schulz G. J., Phelps А. V., Rev. Sci. Instr., 28, 1051 (1957). 41. Heinze W., Wagener S., Z. tech. Phys., 17, 645 (1936). 42. Herrma nn G., K rieg 0., Ann. Phys., 4, 441 (1949). 43. L angmuir I., J. Am. Chem. Soc, 37, 1139 (1915). 44. L a n g m u i r I., J. Am. Chem. Soc, 35, 105 (1913). 45. Weinreich O. A., Phys. Rev., 82, 573 (1951). 46. Weinreich O. A., Bleecher H., Rev. Sci. Instr., 23, 56 (1952). 47. R id en our L. N., Lampson C W., Rev. Sci. Instr., 8, 162 (1937). 48. Nelson R. B., Wing A. K., Rev. Sci. Instr., 13, 215 (1942). 49. K i n g A. H., J. Sci. Instr., 23, 85 (1946). 50. Richards P. A., Tut hi 11 W. A., Rev. Sci. Instr., 22, 841 (1951). 51. Reece M. P., /. Sci. Instr., 34, 513 (1957). 52. Steckelmacher W., Van der Meer S., /. ScL Instr., 27, 189 (1950). 53. H о 1 me s J. C, Rev. ScL Instr., 28, 290 (1957). 54. Benton H. B., Rev. ScL Instr., 30, 887 (1959). 55. M о n t g о m e г у С. G., Montgomery D, D., Rev. ScL Instr., 9, 58 (1938). 56. Warmoltz N., Bouwmeester E., Appl. Sci. Res., 2B, 273 (1952). 57. Bouwmeester E., Warmoltz N., Philips Tech. Rev., 17, 121 (1955). 58. Bo wie R. M., Rev. ScL Instr., 11, 265 (1940). 59. Vollrath R. E., Rev. ScL Instr., 10, 361 (1939). 60. Reynolds J. H., Lip son J., Rev. ScL Instr., 25, 1029 (1954). 61. Ridenour L. N., Rev. ScL Instr., 12, 134 (1941). 62. Parkins W. E., Higginbotham W. A., Rev. ScL Instr., 12, 366 (1941). 63. P e n n i n g F. M., Physica, 4, 71 (1937). 64. P e n n i n g F. M., Philips Tech. Rev., 2, 201 (1937). 65. Dumas G., Rev. gen. Electr., 64, 331 (1955). 66. R e d h e a d P. A., Canad. J. Phys., 36, 255 (1958). 67. Penning F. M., Nienhuis K., Philips Tech. Rev., 11, 116 (1949). 68. Leek J. H., J. ScL Instr., 30, 271 (1953). 69. L e с k J. H., R i d d о с h A., Brit. J. Appl. Phys., 7, 153 (1956). 70. G a г г о d R. I., G г о s s K. A., J. ScL Instr., 25, 378 (1948). 71. Conn G К. T., Daglish H. N., Vacuum, 3, 24 (1953). 72. McI 1 wraith C G., Rev. Sci. Instr., 18, 683 (1947). 73. Evans E. C, Burm aster R. E., Proc. Instr. Radio Engrs., 38, 651 ..(1950). 74. Conn G. К. T., D aglish H. N., J. ScL Instr., 31, 433 (1954). 75. Pi card R. G., Smith P. C1 Zo Hers S. M., Rev. ScL Instr., 17, 125 (1946). 76. Led u с P., Vide, 4, 684 (1949). 77. A 1 1 w о о d H. I. S., J. ScL Instr., 25, 207 (1948). 78. H а у a s h i С. e t a 1., Rev. ScL Instr. 20, 524 (1949). 79. B eck A. H., Brisbane A. D., Vacuum, 2, 137 (1952). 80. Conn G К. Т., Daglish Н. N., /. ScL Instr., 31, 412 (1954). 81. Hob son J. P., Redhead P. A., Advances Vac. ScL Tech., 1, 384 (I960); Canad. J. Physics, 36, 271 (1958). 82. Redhead P. A., Advances Vac. Sci. Tech., 1, 410 (1960). 83. Houston J. M., Bull. Am. Phys. Soc, II, 1, 301 (1956). 84. Lafferty J. M., Vacuum Symposium Trans. Committee Vacuum Tech., Pergamon, N. Y., 1960, p. 97; есть в переводе: Л а ф ф e p т и Дж., Современная вакуумная техника, ИЛ, 1963, стр. 154. 85. Lafferty J М„ /. Appl. Phys., 32, 424 (1961). 86. Lafferty J. M., Vacuum Symposium Trans. Am. Vacuum Soc, 1, 460 (1961). 87. Lafferty J. M., Vacuum Symposium Trans. Am. Vacuum Soc, Macmil-lan, N. Y. —London, 1962, p. 438. 88. Lafferty J. M., J. Appl. Phys., 22, 229 (1951). 89. Langmuir L, J. Am. Chem. Soc, 37, 417 (1915); 34, 860 (1912); 34, 1310 (1912); 36, 1708 (1914). 90. Langmuir I., J. Am. Chem. Soc, 35, 931 (1913). 91. B I e a r s J., Rev. ScL Instr., Supplement № 1, 36 (1950). 92. Y о u n g J. R., J. Appl. Phys., 30, 1671 (1959). 93. S с h 1 i e r R. E., J. Appl. Phys., 29, 1162 (1958). 95. S с h w a r z H., Z. Phys., 122, 437 (1944). 96. Carter G., C obi с В., Leek J. H., Brit. J. Appl. Phys., 12, 384 (1961). 97. H ic km ot t T. W., J. Chem. Phys., 32, 810 (1960). 98. Hickmott T. W., J. Appl. Phys., 31, 128 (1960). 99. Langmuir I., Trans. Am. Instr. Electr. Engrs., 32, 1893 (1913).
100. Carter G., Vacuum, 9, 190 (1959). 101. C obi с B., Carter G., Leek J. H., Brit. J. Appl. Phys., 12, 282, 1384 (1961). 102. James L. H., Carter G., Brit. J. Appl. Phys., 13, 2 (1962): 103. Varnerin L. J., Carmichael J. H., I. Appl. Phys., 26, 782 (1955). 104. Y о u n g J. R., J. Appl. Phys., 26, 1302 (1955). 105. B 1 e a r s J., Proc Roy. Soc, 188A, 62 (1947). 106. Haefer R. A., Hengevoss J., Vacuum Symposium Trans. Am. Vacuum Soc, Pergamon, N. Y., 1960, p. 67; есть в переводе: X e ф e p P., Хенгефос И., Современная вакуумная техника, ИЛ, 1963, стр. 225. 107. Brown E., Leek J. H., Brit. J. Appl. Phys., 6, 161 (1955). 108. Do wn in g J. R., Mel Ie n G., Rev. ScL Instr., 17, 218 (1946). 109. D о w n i n g J. R., M e 11 e n G., Electronics, 142 (1946). 110. Beynon J. H., Nicholson G. R., J. ScL Instr., 33, 376 (1956). 111. Vitkus P. L., Vacuum Symposium Trans. Am. Vacuum Soc, Pergamon, N. Y., 1959, p. 89. 112. Roerig J. R., V a n d e r s с h m i d t G.. F, Vacuum Symposium Trans. Am. Vacuum Soc, Pergamon, N. Y., 1959, p. 82. 113. Va cc a R. H., Vacuum Symposium Trans. Am. Vacuum Soc, Pergamon N. Y., 1956, p. 93. 114. Redhead P. A., Rev. ScL Instr., 31, 343 (1960). 115. Redhead P. A., Vacuum, 12, 267 (1962). 116. Elmore W. C, Sands M., Electronics, N. Y., McGraw-Hill, N. Y., 1949, p. 55; есть в переводе: Элмор Э., Сендс M., Электроника в ядерной физике, ИЛ, 1951. 117. Elsworth L., Vacuum, 10, 256 (1960)
|
= | |