При малых давлениях непосредственное измерение силы давления невозможно из-за ее малости. Например, при 10^-6 тор сила в 1 Г распределена по поверхности 74 м2. Поэтому прибегают к косвенному измерению давления. Манометрами косвенного типа являются, например, радиометрический и вязкостный (роторный) манометры. В адсорбционном манометре измеряется зависимость работы выхода поверхности от степени ее заполнения адсорбированным газом, т. е. в конечном счете от давления.

Промышленность выпускает вязкостный пьезоэлектрический манометр марки ВП-1 с колеблющейся кваустановки и требования к точности измерений.

Рис. 34. Диапазоны работы вакуумметров различных типов: -промышленные приборы;----опытные образцы.

 Например, при 10^-6—10^-8 тор погрешность промышленных манометров составляет 30—200%, образцовых приборов 5—10%. При выборе манометра большое значение имеют разница в его чувствительности к различным газам и эксплуатационные данные: надежность и срок службы, устойчивость к вибрации, внешним полям, возможность автоматизации измерений, инерционность и т. д.

Механические манометры применяют для измерений в области низкого вакуума. В деформационных манометрах упругий элемент, связанный с индикатором, прогибается под действием разницы измеряемого и эталонного давлений (атмосфера или высокий вакуум). В сильфонных промышленных манометрах серии ВС-7 измеряемое давление вызывает перемещение сильфона, передающееся самописцу. Эти приборы имеют линейную шкалу до 760 тор и точность показаний 1,6%.

В мембранных манометрах мерой давления служит прогиб мембраны, причем в наиболее точных приборах этот прогиб измеряется электрическими методами с компенсацией прогиба (рис. 35). Емкость конденсатора между пробойным напряжением.

 мембраной и одним электродом включена в сбалансированныи мост; отклонение мембраны от равновесия компенсируют электростатической силой другого кондeнcaтора с реrулируемым напряжением U:

 rде b конструктивная константа прибора, Чувствительность тaкoгo прибора порядка 450 пф/тор, пределы измерения от 4,1*10^-1 дo 10^-3 тор. Верхний предел ограничен пробойным напряжением.

 Автоматически устанавливающееся напряжение компенсации выводится на прибор, проградуированный в торах. В компенсационных манометрах исключены погрешности, связанные с деформацией (нарушение упругости).