Свойства вакуума |
Особенности вакуумных систем |
контрольно-измерительная аппаратура |
Течеискатели |
Вакуумные материалы |
Уплотнители и и смазки |
Вакуумные вентили и переходники |
Запорные устройства |
Способы соединения вакуумных систем |
Общие принципы |
Подбор вакуумных насосов |
Масляные средства откачки |
Вакуумометрические приборы |
Вакуумные установки |
Сорбционные средства откачки |
Физические явления в вакууме |
Электрофизические вакуумные насосы |
Выбор оборудования - Общие принципы подбора вакуумного оборудования |
К электрофизическим насосам (ЭФН) обычно относят все типы насосов поверхностного действия, в которых для создания и активации сорбирующих поверхностей используются электрический разряд в вакууме, резистивный и электронно-лучевой нагрев, потоки ускоренных заряжен-женных частиц, электромагнитное излучение. Как отмечается . эти механизмы позволили пересмотреть принципы построения вакуумных систем. Для ЭФН характерно разнообразие физических принципов и сфер применения. В вакуумных системах ускорителей и термоядерных установок электродные блоки электрофизических насосов встроены непосредственно в откачиваемую камеру, дли их функционирования могут использоваться собственные электромагнитные поля установок или циркулирующие в них пучки заряженных частиц Такая компоновка позволяет полностью использовать быстроту дейс1вия, на два-три порядка снизить остаточное давление, при этом резко уменьшается стоимость и объем вакуумной системы В настоящее время наибольшее распространение получили испарительные геттерно-ионные и распылительные геттерно-ионные(магнито-торазрядные) насосы Сравним их характеристики (табл.2 3) ![]()
Рассмотренным насосам свойственны недостатки в ряде случаев ограничивающие их практическое использование. От указанных недостатков свободны комбинированные насосы, обеспечивающие быстроту действия порядка сотен тысяч литров в секунду и более, возможность откачки систем в условиях переменных потоков газа различного спектрального состава , низкое предельное остаточное давление 10-10 Па , достигаемое за более короткое время, материалоемкость 0,12-0,03 кг/л/с,более низкую стоимость откачки. Селективность действия этих насосов по отношению к некоторым газам, затрудняющая их применение в ряде конкретных случаев, легко устраняется комбинированным применением их различных модификаций, а также параллельным использованием TMH или крионасоса В табл 2.4 представлены данные обо всех рассмотренных высоковакуумных насосах
![]()
|
= | |