Из уравнения сохранения массы следует, что скорость изменения массы газа, находящегося в вакуумируемом сосуде, равна разности поступающей в сосуд и покидающей его масс газа в единицу времени. При постоянных температуре и составе газа скорость изменения массы пропорциональна потоку газа. Поэтому скорость изменения массы газа определяется выражением

(1.31)

где Qвx и <Звых — входящий и выходящий из сосуда потоки газа соответственно. Если эффективная быстрота откачки сосуда равна S, то выходящий поток равен

(1.32)

Для вакуумной системы постоянного объема выражение (1.31) принимает вид

(1.33)

Предполагая QBX постоянным и интегрируя выражение (1.33), получим

(1.34)

где ро—начальное давление в системе. Следовательно, в процессе откачки давление падает по экспоненциальному закону с постоянной времени, равной V/S, и при t = ? предельно дельно достижимое давление равно

(1.35)