| Свойства вакуума |
| Особенности вакуумных систем |
| контрольно-измерительная аппаратура |
| Течеискатели |
| Вакуумные материалы |
| Уплотнители и и смазки |
| Вакуумные вентили и переходники |
| Запорные устройства |
| Способы соединения вакуумных систем |
| Общие принципы |
| Подбор вакуумных насосов |
| Масляные средства откачки |
| Вакуумометрические приборы |
| Вакуумные установки |
| Сорбционные средства откачки |
| Физические явления в вакууме |
| Термообработка металлов в вакууме |
| Вакуумные установки - Применение вакуума в металлургии | ||||
Cтраница 2 из 2 Печь пригодна для получения сверхвысокого вакуума, свободного от влаги и загрязнений, при температуре до 2200 0С. Такая печь особенно подходит для термообработки тугоплавких или активных металлов, таких как Та, Nb, Zr, а также для спекания, светлого отжига и дегазации различных металлов. В печи обеспечивается равномерное распределение температур и получаются слитки высокой чистоты (рис. 175 и 176). Техническая характеристика печи: предельное давление 10-9 мм рт. ст., давление при нагреве до 2000' С без загрузки приблизительно 10-8 мм рт. ст. Зона нагрева с равномерным распределением температур имеет размеры: диаметр 50 мм, высота 150 мм. В области температур от 1600 до 2000 С неравномерность составляет ± 20 0С. Мощность системы откачки 10 кВт, мощность нагрева печи 15 кВт, расход воды 25 л/мин. ![]() Рис. 175. Печь для термообработки металлов в сверхвысоком вакууме (фирма Ульвак, Япония): 1 — нагреватель; 2 — изоляция; 3 — охлаждающая вода; 4 — ввод тока; 5 — термопара На рис. 177 приведена схема сверхвысоковакуумной печи отечественного производства [24]. Сверхвысоковакуумная печь сопротивления служит для нагрева различных изделий до 800° С при давлениях до 10-9 мм рт. ст. Нагреватель представляет собой разрезной цилиндр из листового молибдена толщиной 0,1мм, длиной 1000 мм Ii диаметром 360 мм. Диаметр камеры IaOO мм, длина 1500 мм. Камера изготовлена из коррозионностойкой стали толщиной 5 мм.
Система откачки включает в себя два насоса ВН-2МГ и цеолитовый агрегат ЦВА-1-2 (предварительная откачка); два электроразрядных насоса НЭМ-300 и высоковакуумный агрегат Ва05-5 (высоковакуумная откачка). Давления в диапазоне 10-5—10-9 мм рт. ст. измеряются вакуумметром ВИ-12 датчиком ИМ-12. Для прогрева корпуса с наружной его стороны расположен нихромовый нагреватель с асбестовой теплоизоляцией. Предварительный прогрев производится до температуры 350—400° С. Все уплотнения изготовлены из листовой меди МО и M1.
![]()
![]() 1 корпус; 2 — змеевик водоохлаждения; 3 — нагреватель для прогрева корпуса печи; 4 — токопод-5 — вакуумный датчик MH-S2-7; 6 — экранная теплоизоляция; 7 — смотровые окна; 8 — цеолит агрегат ЦВА-1-2; 9 — нагреватель10; — наружный кожух; 11 — приспособление для за-я испытуемых образцов; 12 — высоковольтные вводы: 13 — вакуумный агрегат НЭМ-300-1; -электроразрядные магнитные насосы НЭМ-300-1; 15 — печь для прогрева насосов НЭМ-300-1; 16 — водораспределительная камера ![]() Рис. 177. Сверхвысоковакуумная камерная электропечь
|
| = | |