Для удаления отслоившейся пленки насос отстыковы­вают от откачиваемого сосуда, снимают испаритель, производят чистку внутренних поверхностей насоса. После снятия отслоившейся пленки мелкозернистой наждачной бумагой очищают запыленные поверхности. Производя чистку насоса, не следует забывать о токсич­ности титана и в особенности его пыли. Работать надо в очках и с респиратором. На руки должны быть надеты рукавицы или перчатки из плотной ткани, так как мел­кие частицы титана сгорают при сильном механическом воздействии.

Периодичность обслуживания насоса устанавливает­ся опытным путем индивидуально для каждого конкрет­ного производства и технологического процесса, осу­ществляемого на установке.

Эксплуатация и обслуживание других типов геттерных насосов аналогичны.