Свойства вакуума |
Особенности вакуумных систем |
контрольно-измерительная аппаратура |
Течеискатели |
Вакуумные материалы |
Уплотнители и и смазки |
Вакуумные вентили и переходники |
Запорные устройства |
Способы соединения вакуумных систем |
Общие принципы |
Подбор вакуумных насосов |
Масляные средства откачки |
Вакуумометрические приборы |
Вакуумные установки |
Сорбционные средства откачки |
Физические явления в вакууме |
Контроль герметичности с помощью масс-спектрометрического течеискателя |
Разное - Применение вакуумной техники | ||||
Cтраница 2 из 2
Включают магниторазрядный вакуумметр и откачивают камеру до давления 2,5•1O-3—5•1O-3 Па (50—80 мкА по шкале магниторазрядного вакуумметра). Включают катод ионного источника и фиксируют установившиеся показания ат стрелочного прибора выносного пульта управления ВПУ. Закрывают клапан «Гелиевая течь». При этом отсчет течеискателя начнет уменьшаться Рассчитывают чувствительность течеискателя к потоку гелия но формуле
где Sq — чувствительность течеискателя к потоку гелия; Q — величина потока гелия калиброванной гелиевой течи. Чем меньше численная величина Sq1 тем лучше, так как это означает, что меньшему потоку гелия, поступающему в течеискатель, будет соответствовать больший отсчет течеискателя. Градуировка течеискателей, в которых отсутствует встроенная течь, осуществляется следующим образом. Через клапан 8 (рис. 7-4) к течеискателю подсоединяется калиброванная гелиевая течь. Через клапан 7 подсоединяется вспомогательный насос.
Течеискатель включается в рабочий режим. Вспомогательным насосом через клапаны 7 и 8 производится откачка гелиевой течи до давления 2,5—5 Па. Выключается катод масс-спектромет-рической камеры. Закрывается клапан 7, открывается дросселирующий клапан 6 течеискателя. Выключается вспомогательный насос. После установления давления в камере фиксируют показания течеискателя. Закрывают клапан 8 и после стабилизации показаний течеискателя фиксируют фон аф. Закрывают клапан 6. Производят расчет чувствительности течеискателя. Хотя градуировка течеискателя производится по потоку гелия, в действительности его масс-спектрометрический анализатор определяет концентрацию гелия в камере. Соответствие установившейся концентрации гелия в камере и потока гелия, поступающего в течеискатель, устанавливается известной формулой. где Pv — давление гелия в камере, Qr — поток гелия в течеискатель, Sr — быстрота откачки камеры по гелию Изменение быстроты действия диффузионного насоса по гелию в зависимости от мощности подогрева насоса открывает возможности для регулирования чувствительности течеискателя. При снижении мощности подогрева снижается быстрота действия по гелию При этом быстрота действия по воздуху в широком диапазоне остается практически постоянной Это позволяет повысить чувствительность течеискателя в результате увеличения давления гелия в камере при том же потоке гелия и сохранении общего давления в камере При изменении мощности, подводимой к нагревателю пароструйного насоса, должна быть произведена повторная градуировка течеискателя
С помощью гелиевого течеискателя может производиться как контроль герметичности, так и поиск течей Для повышения достоверности и обеспечения большей точности измерений градуировку течеискателя следует производить при рабочем давлении в камере, давлении, которое будет в процессе испытаний Предельные возможности течеискателя характеризуются минимальным потоком гелия, который регистрируется течеискателем
где Ааф — максимальная амплитуда флюктуации фона; 2Ааф — отсчет течеискателя, принимаемый за достоверный Расширения предельных возможностей течеискателя (снижения Qmhh) можно достичь повышением его чувствительности (снижением численного значения Sq) в результате снижения мощности подогрева пароструйного насоса Однако следует иметь в виду, что одновременно с повышением чувствительности повышается флюктуация фона Так, увеличение чувствительности при снижении напряжения на нагревателе насоса ниже 180 В полностью компенсируется увеличением флюктуации фона течеискателя. С помощью масс-спектрометрического течеискателя контроль герметичности и поиск течей осуществляются способами обдува и гелиевых чехлов (камер), способом щупа, барокамеры, вакуумных присосок и способом накопления Способ обдува и гелиевых чехлов в основном применяется для испытаний вакуумных систем с собственными средствами откачки и элементов вакуумных систем В этом случае на наружную поверхность изделия подается пробный газ Во гнутренней полости изделия создается разрежение и фиксируется проникновение в нее пробного газа. Способы щупа, барокамеры и вакуумных присосок применяются для испытаний изделий, в которых нельзя или нецелесообразно создавать разрежение В этом случае в изделии создается избыточное давление пробного газа и фиксируется проникновение его на наружную поверхность. Способом вакуумных присосок, кроме того, могут быть испытаны изделия без замкнутой оболочки, например листы металла на сплошность. Способ накопления может явиться разновидностью любого из перечисленных способов, за исключением, пожалуй, способа щупа
|
= | |