Единицей измерения давления в системе СИ служит паскаль (Па=1 Н/м2). Однако очень широко распространена исторически сложившаяся единица измерения давления — миллиметр ртутного столба (1 мм рт. ст. = 1,33•1O² Па). Измерять давление газа можно непосредственно, определяя силу, действующую на поверхность твердого тела или жидкости. Такие измерения называют абсолютными В вакуумной технике чаще всего имеют дело с такой степенью разрежения газа, когда трудно непосредственно измерить силу (ввиду ее малости), действующую на поверхность. Поэтому для измерения давления используют раз­личные физические явления, интенсивность которых известным обра­зом зависит от давления.

Приборы, служащие для измерения давления, называют мано­метрами. Манометры, предназначенные для измерения давления газа ниже атмосферного, называют вакуумметрами. К абсолют­ным вакуумметрам, шкалы которых могут быть рассчитаны с по­мощью основных физических величин (массы, времени, длины и т. д), относятся U-образный, деформационный и компрессионный вакуумметры. К вакуумметрам косвенного действия относятся теп­ловые, использующие зависимость теплопроводности разреженного газа от давления, и ионизационные, использующие явление иониза­ции газа. Тепловые вакуумметры (подразделяются на термопарные вакуумметры и вакуумметры сопротивления Ионизационные вакуум­метры подразделяются на электронные, радиоизотопные и магнит­ные электроразрядные.

Вакуумметры косвенного действия, как правило, состоят из ма­нометрического преобразователя, вырабатывающего выходной элек­трический сигнал соответственно величине давления газа в преобра­зователе, измерительного блока — устройства, измеряющего выходной сигнал манометрического преобразователя и обеспечивающего заданный электрический режим его питания, и соединительного ка­беля, соединяющего преобразователь с измерительным блоком

Вакуумметр характеризуется диапазоном измеряемых давлений, чувствительностью — отношением изменения выходного сигнала ва­куумметра к вызывающему его изменению давления и погрешностью измерений. Кажущаяся большой относительная погрешность вакуум­метров, см. приложение 10, вполне приемлема в вакуумной технике и не имеет существенного значения для проведения большинства технологических процессов.