Параметры масс-спектрометров зависят главным образом от таких факторов, как эффективность ионизации и экстрагирования ионов, степень разделения ионного пучка по массам и эффективность улавливания и регистрации ионов. Особое значение имеют такие рабочие параметры масс-спектрометров, как диапазон анализируемых масс, диапазон рабочих давлений, разрешающая способность, чувствительность, порог чувствительности и относительная чувствительность; они обычно указываются изготовителями приборов.

Диапазоны анализируемых масс и рабочих давлений достаточно очевидны и обычно приводятся в виде абсолютных величин безотносительно к разрешающей способности или чувствительности. Разрешающая способность представляет собой способность разделять ионы с молекулярными массами, мало разнящимися между собой, и определяется как отношение массового числа M = m/e к наименьшему разрешаемому изменению массового числа ΔM =Δm/e, т. е. равна M/ΔM. Таким образом, на разрешающую способность могут влиять массовое число и, до некоторой степени, относительные высоты пиков ионов масс-спектра. На практике определение разрешающей способности упрощается, если принять ΔM=1 а. е. м. (атомная единица массы). В этом случае говорят о разрешении пиков с целочисленными массами (например, пиков, соответствующих массам M и М+).

Понятие разрешения двух соседних пиков не имеет универсального определения, и, как правило, используются два следующих подхода. Рассматриваются два перекрывающихся пика массой M и M +1 одинаковой высоты и измеряется высота «седловины» между ними относительно высоты пика (в %, рис. 5.2,а). Если требуется высокая точность измерений, особенно в случае пиков разной высоты, то для разрешения считается достаточной 1—2%-ная седловина, а при качественном анализе допустима и 50%-ная седловина.

Рис. 5.2 Два метода определения разрешающей способности. Пояснения в тексте.

 Наиболее часто в качестве условия разрешения принимается 10%-ная седловина между двумя перекрывающимися пиками. Таким образом, разрешающая способность масс-спектрометрического анализатора остаточного газа определяется как способноть разделения двух соседних пиков с целочисленными массами при 10%-ной седловине в диапазоне масс 2—200 а. е. м. Поскольку для разрешения наибольших масс требуется самое высокое разрешение, в этом случае говорят, что разрешение прибора составляет (при 10%-ной седловине) 200 ед.