Cтраница 4 из 5 Несмотря на возросшее применение керамических материалов в качестве оболочек электровакуумных устройств, количество опубликованных исследований, посвященных проникновению гелия сквозь керамику, невелико. В большинстве работ было обнаружено, что скорость натекания гелия сквозь керамику ниже, чем через стекло, однако величины постоянных проницаемости не сообщаются. Фирмы, производящие керамику, указывают вакуумную плотность выпускаемых материалов по данным, полученным на керамическом образце в форме диска с помощью гелиевого течеискателя. Тем не менее известна лишь работа Миллера и Шепарда [23], в которой изучается проникновение гелия и воздуха сквозь пирокерам-9606 и 97%-ную алюмооксидную керамику (рис. 2.11). На этом же рисунке представлены данные для стеклокерамики макор. Проникновение кислорода, азота и аргона при повышенных температурах сквозь стенку трубки из алюмооксидной керамики, изготовленной методом прессования. Установлено, что при температурах ниже 1500 0C керамика
газонепроницаема (в пределах ошибки эксперимента, составляющей 1,5*10-13 м2*с-1). При температурах выше 1500 0C проницаемость составила ~10-11 такое относительно высокое значение объясняется изменением микроструктуры керамики и, как следствие, возникновением селективного проникновения кислорода. Существенно более высокие значения постоянной проницаемости были получены для образцов в форме диска, изготовленных методом горячего прессования и имеющих аналогичный состав. Таким образом, метод изготовления керамики оказывает значительное влияние на газопроницаемость.
Обычно при использовании керамики, не имеющей таких дефектов, как трещины или свищи, проникновение гелия не создает препятствий для достижения сверхвысокого вакуума. Кроме того, в настоящее время выпускаются толстостенные керамические материалы, термические напряжения в которых не приводят к возникновению трещин.
|