Свойства вакуума |
Особенности вакуумных систем |
контрольно-измерительная аппаратура |
Течеискатели |
Вакуумные материалы |
Уплотнители и и смазки |
Вакуумные вентили и переходники |
Запорные устройства |
Способы соединения вакуумных систем |
Общие принципы |
Подбор вакуумных насосов |
Масляные средства откачки |
Вакуумометрические приборы |
Вакуумные установки |
Сорбционные средства откачки |
Физические явления в вакууме |
Особенности ионизационных манометров |
Примеры и лабораторные работы - Вакуумометрические приборы |
Для измерения давления в диапазоне от 10-3 до 10-7 тор применяют вакуумметры ВИТ-1 (ВИТ-2) с манометрами ЛМ-2 и вакуумметры ВИ-12 с манометрами ИМ-12.
Включать эти вакуумметры следует лишь после того, как в откачиваемом объеме достигнуто разрежение не менее Ю-3 тор для ламп ЛМ-2 и не менее 10-4 тор для ламп ИМ-12. Сначала вакуумметр включают в режиме обезгаживания сетки, для чего соответствующий переключатель вакуумметра устанавливают в положение «прогрев». Регулятор эмиссии устанавливают в крайнее левое'положение (минимум тока эмиссии). После прогрева сетки в течение 5—10 мин устанавливают рабочее положение переключателей и ток эмиссии катода плавно увеличивают до 5 ма. До начала измерений давления проверяют установку «нуля» измерительного усилителя и его калибровку. После этого прибор готов к работе. Давление в откачиваемом объеме определяют по измерительному прибору, показания которого умножают на соответствующий множитель переключателя диапазонов давления. Следует иметь в виду, что при откачке установки масляными насосами ионизационные датчики загрязняются парами масла. Как было указано ранее, это приводит к значительным погрешностям в измерении давления. Поэтому после измерения давления манометрический датчик вновь следует поставить в режим прогрева— обезгаживания. Периодически включая вакуумметр в режим измерения, по изменению показаний прибора определяют степень чистоты манометрической лампы. Обезгаживание следует считать законченным при получении устойчиво повторяющихся показаний. При использовании манометрической лампы ИМ-12 для измерения давлений, меньших 10-7 тор, обезгаживание деталей лампы прогревом сетки оказывается недостаточным. Дальнейшее обезгаживание достигается прогреванием баллона лампы в печи до температуры порядка 400° С и обезгаживание сетки электронной бомбардировкой при напряжении порядка 1500 в между сеткой и катодом. Зависимость ионного тока манометрических ламп ЛМ-2 и ИМ-12 в условиях постоянного эмиссионного тока от рода откачиваемого газа следует учитывать при эксплуатации этих датчиков. Во-первых, при установке ламп на откачиваемом объеме необходимо принять меры по предотвращению прямого попадания паров уплотняющего материала (например, резины) в колбу ламп. Для этого при установке ламп типа ЛМ-2 в «грибковое» уплотнение (наиболее типичное соединение при металлическом исполнении вакуумной системы) следует убедиться в том, что стеклянный патрубок лампы находится непосредственно в откачиваемом объеме, а не в уплотняющем кольце «грибка». Во-вторых, указанная избирательная чувствительность к разным газам часто применима для нахождения течей в объеме. При этом используется методика, описанная в предыдущем параграфе. Однако, так как нахождение течи в данном случае проводят в условиях высокого вакуума (10-4— 10-6 тор), чувствительность метода оказывается значительно более высокой. Наконец, следует особо отметить поведение манометрических датчиков в условиях попадания паров воды в откачиваемый объем. При этом устанавливается специфический процесс кругового цикла водяного пара, приводящий к быстрому распылению вольфрамовой нити накала. Манометрические датчики ЛМ-2 и ИМ-12 имеют вольфрамовый катод в виде тонкой нити и сравнительно хрупкую, легко провисающую сетку, поэтому их следует располагать на аппаратуре вертикально (цоколем вверх или вниз). Следует также отметить, что в отдельных экземплярах ламп ЛМ-2 наблюдается явление генерации (колебания в цепи накала-коллектора), связанное с неустойчивым режимом стабилизатора. В некоторых случаях эти нежелательные колебания удается погасить установкой небольшой катушки индуктивности или небольшой емкости в коллекторной цепи. |
= | |