Cтраница 4 из 7 Отражатель сам по себе не предотвращает обратный перенос рабочей жидкости, но, поскольку отражатель имеет более низкую температуру, чем сопла, обратный перенос также будет уменьшаться. Таким образом, для повышения эффективности действия отражателя его необходимо охлаждать водой или фреоном с помощью специального охлаждающего устройства. Использование охлаждаемого шевронного отражателя и рабочего масла с низким давлением паров удовлетворяет самым жестким требованиям, предъявляемым к откачивающим устройствам сверхвысокого вакуума; так, в некоторых случаях было достигнуто предельное остаточное давление 6,7•1O-7 Па при использовании масла силикон-705.
Если в насосе используется масло с высоким давлением паров или, более того, ртуть, то охлаждаемого отражателя недостаточно и необходимо применять ловушку, охлаждаемую жидким азотом. При температуре жидкого азота давление паров любой рабочей жидкости значительно снижается, однако конструкция ловушки должна быть такова, чтобы каждая молекула с высокой степенью вероятности сталкивалась с охлаждаемой поверхностью. На рис. 3.3, а показана ловушка, используемая в металлических установках и устанавливаемая непосредственно в впускной горловине насоса; а на рис. 3.3 б — ловушка для стеклянных систем сверхвысокого вакуума, характеризующаяся высокой проводимостью (1,5*10-2 м3*с-1) и высокой эффективностью конденсации. Поскольку конденсируемый на ловушке пар теряется для насоса, необходимо использование охлаждаемого отражателя для уменьшения обратного потока рабочей жидкости, поступающей в ловушку.
Поэтому в системах сверхвысокого вакуума следует использовать охлаждаемый водой отражатель и охлаждаемую жидким азотом ловушку. Следует, однако, учитывать, что эти устройства уменьшают быстроту откачки, вероятно, не менее чем на 40%. Кроме того, поверхность этих устройств является дополнительным источником газа, выделяющегося в систему.
|