|
Cтраница 7 из 7 При использовании в паре диффузионного и ротационного насосов не всегда принимается во внимание возможность попадания масла из ротационного насоса в диффузионный, где оно подвергается значительному нагреву. Эта проблема подробно рассмотрена в литературе. Для ротационных насосов масло подбирается исходя из условий обеспечения хорошей смазки и соответствующего вакуума. Однако такие масла не подходят для диффузионных насосов с точки зрения давления паров и химической стабильности. Обычные клапаны с заслонкой, которая одновременно служит маслоотражателем, и охлаждаемые водой ловушки, устанавливаемые между ротационным и диффузионным насосами, совершенно непригодны для систем сверхвысокого вакуума. Даже ловушки, охлаждаемые жидким азотом, ввиду их низкой эффективности в условиях вязкого течения (форвакуума) не предотвращают попадание масла из ротационного насоса в диффузионный. Наилучший эффект по улавливанию масла достигается при использовании ловушек с керамическим адсорбентом (цеолитом).
Цеолит активно поглощает газы, особенно углеводороды и пары воды, благодаря своей высокопористой структуре (см. разд. 3.4). Поскольку эффективность адсорбции увеличивается с понижением температуры, были сконструированы ловушки этого типа, охлаждаемые жидким азотом. Главные трудности, возникающие при эксплуатации таких ловушек, заключаются в насыщении поверхности поглотителя с течением времени, что приводит к
снижению эффективности поглощения и даже обледенению ловушки при откачке
больших количеств паров воды. Однако поглотитель легко регенерируется нагреванием при одновременном откачивании ротационным насосом; кроме того, ловушку можно «шунтировать» через обходной трубопровод в течение начального периода откачки. Авторы работы считают, что использование активированной окиси алюминия в этом отношении предпочтительнее по сравнению с цеолитом. В заключение еще раз подчеркнем, что, обеспечивая достаточно полное поглощение паров масла ротационного насоса и снабжая диффузионный насос прогреваемыми до, по крайней мере, маслоотражателем и ловушкой, можно получить с помощью современных диффузионных насосов сверхвысокий вакуум лучше 10-8 Па. Однако всегда следует помнить о возможности попадания в вакуумную систему незначительных количеств масла, что в некоторых случаях недопустимо.
|